HORIBA 流量計(jì)液體流量計(jì)LF-F50M-A

LF-F類(lèi)型質(zhì)量流量控制器根據(jù)流量量程，可以適用到 值， 0.1Pa•s。有關(guān)高粘度的液體請(qǐng)預(yù)*行咨詢(xún)協(xié)商。 *3： 以SEMI E56-1296 為準(zhǔn)。 *4： 進(jìn)行測(cè)量?控制的液體溫度如果低于環(huán)境溫度時(shí)，使用時(shí)請(qǐng)把溫差控制在10℃以 內(nèi)；如果高于液體溫度時(shí)，使用時(shí)請(qǐng)把溫差控制在3℃以?xún)?nèi)。 *5：這是在粘度0.001Pa?s中的F.S.流量值。

可以進(jìn)行低沸點(diǎn)液體材料、高粘度液體材料的精密流體控制。 •超潔凈類(lèi)型 規(guī)格 名稱(chēng) 質(zhì)量流量計(jì) 型號(hào) LF-F20M-A LF-F30M-A LF-F40M-A LF-F50M-A LF-F60M-A 全標(biāo)度流量