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深圳市天鉉真空技術(shù)有限公司
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島津MSE-2400全自動(dòng)便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀(油泵)

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更新時(shí)間:2023-10-15 15:38:10瀏覽次數(shù):520次

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島津MSE-2400全自動(dòng)便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀(油泵)


性能和規(guī)格

外形尺寸

應(yīng)用領(lǐng)域

  • 半導(dǎo)體和平板顯示器制造
  • LED制造
  • 鍍膜設(shè)備
  • 制冷設(shè)備和空調(diào)的元件及部件
  • 低溫壓力容器
  • 閥門氣密性
  • 撿漏航空部件,配件及系統(tǒng)




而且,TMP-5305系列具有5300 L/s的高級(jí)別氣體吞吐和抽氣速度,預(yù)計(jì)可用于下一代450 nmm半導(dǎo)體晶圓加工。
島津制作所半導(dǎo)體儀器事業(yè)部渦輪分子泵BU R&D小組BU長太田知男表示:“目前,我們?cè)诖艖腋MP領(lǐng)域已經(jīng)占領(lǐng)了30 %的*。"“島津TMP在的普及反映了我們?yōu)闈M足不斷變化的行業(yè)需求而提供的創(chuàng)新設(shè)計(jì)和技術(shù)支持的歷史。"
事實(shí)上,島津TMP的原型是為了用于位于神戶的日本快速的超級(jí)計(jì)算機(jī)設(shè)計(jì)而成的。太田知男說:“島津工程師使用了建模技術(shù)來模擬TMP性能。"“我們所有的商用TMP系統(tǒng)均在島津內(nèi)部制造完成。通過這種方式,我們確保了產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。"

在需要超高真空的真空工業(yè)和分析科學(xué)應(yīng)用中,TMP的性能必須滿足嚴(yán)格的要求。TMP-B300是一款低功率、緊湊型渦輪分子泵,高度為195毫米,帶有一體式控制器,可在空間受限的環(huán)境中垂直、倒置或水平安裝。本設(shè)備允許1000 Pa的高前級(jí)壓力以支持隔膜泵等小型前級(jí)泵。
此外,本設(shè)備還配備了易用型集成控制面板,在約280 L/s的抽速下,僅以180 W的低功耗工作。



1179A01312CR1BV-K [ MKS ]
質(zhì)量流量控制器 1179A01312CR1BV-K,氣體:N2,范圍:100SCCM,類型:VCR,D-SUB 15P

1479A01353CR1BM [ MKS ]
質(zhì)量流量控制器 1479A01353CR1BM,氣體:N2,范圍:5SLM,類型:VCR

649A12T51CAVR-S [ MKS ]
質(zhì)量流量控制器 649A12T51CAVR HE 50SCCM, 100Torr SPCAL
649A-14943S [ MKS ]
質(zhì)量流量控制器 649A-14943S HE 50SCCM VCR 15P 50Torr / SPF 1013
P8A-26808 [ MKS ]
質(zhì)量流量控制器 MV-1242-PV H2O 3G/MIN VCR
DLT2A2231A1P210 [ MKS ]
質(zhì)量流量控制器 DLT2A2231A1P210 N2 2SLM VCR 9P



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