VDM300-LAM796-055344-005水蒸汽brooks流量計-深圳市天鉉真空技術(shù)有限公司

產(chǎn)地	進口	額定電壓	24V
加工定制	否	濕度范圍	真空% R.H
適用領(lǐng)域	其他	外形尺寸	1mm
溫度波動度	2℃	溫度范圍	1℃
溫度均勻度	3%	重量	1kg

LAM796-055344-005

特點

流量范圍：3 slpm （去離子水蒸汽）
具有超高流量精度的直接水蒸汽測量
能直接連接到廠房去離子水供應(yīng)系統(tǒng)
在較低溫度下可操作（非過熱狀態(tài)）
沖刷和排水的優(yōu)化設(shè)計
EtherCAT數(shù)字通訊
Brooks Expert Support Tool (BEST)圖形用戶界面

優(yōu)勢

采用了成熟可靠的熱式質(zhì)量流量測量和控制技術(shù)
適用于各種FAB去離子水供水的壓力
接液件耐腐蝕性能增強
確保更清潔的操作
可匹配各種設(shè)備的模擬或數(shù)字通訊接口
直接用戶界面可增強數(shù)據(jù)收集或故障排查

應(yīng)用

硅材料半導(dǎo)體金屬刻蝕后段工藝
硅材料半導(dǎo)體金屬剝離工藝
在負(fù)大氣壓的環(huán)境中超高純加濕

LAM797-800733-100半導(dǎo)體機臺配件MFC649B-32597

深圳市天鉉真空技術(shù)有限公司

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Coastal Instruments 成立于1980年，是國內(nèi)專業(yè)的流量計服務(wù)商。致力于進口質(zhì)量流量計、壓力傳感器等壓力測量器件的校準(zhǔn)、維修及銷售服務(wù)。其技術(shù)*、高可靠性及誠信使其成為行業(yè)的，是專業(yè)的MFC技術(shù)服務(wù)商。

深圳市天鉉真空技術(shù)有限公司專門經(jīng)營進口氣體質(zhì)量流量計銷售，全套校準(zhǔn)，一年質(zhì)保期。

本公司專業(yè)銷售質(zhì)量流量計近40年，具有豐富的銷售和售后服務(wù)經(jīng)驗，我們有專業(yè)的服務(wù)團隊和專業(yè)工程師對產(chǎn)品進行跟蹤服務(wù)。
具體產(chǎn)品參數(shù)，價格請詢價

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