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Exchang Repair 注入機(jī) FILAMENT P.S電源

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更新時間：2023-10-20 10:48:11瀏覽次數(shù)：855次

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sell  Exchang  Repair

Debbbbbbion注入機(jī) FILAMENT P.S電源

Aviza/SPTS Omega ICP etcher configuration inbbbbation:

1.Configured for 8'' wafer

2.automatic wafer handling

3.Cl2 based etching process

4.3 process modules

5.Inspected by SPTS OEM engineer

6.Missing 1x Mag7 robot

7.Missing 1x VCE B controller

8.Missing 1x 24V DC Power supply


sell  Exchang  Repair Debbbbbbion注入機(jī) FILAMENT P.S電源

ETCH主要產(chǎn)品涉及金屬加工件chamber Linear/heater/slit door）；密封件；以及ESC（包括ESC 翻 新

延長了使用壽命




加熱元件的發(fā)熱越有效，需要對它們進(jìn)行的加熱就越少。Plansee 研發(fā)了一種能夠熱輸出的涂層工藝。



鎢基層具有高孔隙率的

  • 鉬（熔點(diǎn)：2620°C）和鎢（熔點(diǎn)：3420°C）均是難熔金屬，高熔點(diǎn)使它們非常適合用于諸如 MOCVD 和 MBE 之類的高溫工藝。
  • 耐腐蝕：
    鉬和鎢在各種環(huán)境中都具有耐腐蝕性，甚至在溫度下也是如此：
鉬 鎢
氨氣
  • 在操作過程中，反應(yīng)室部件中的雜質(zhì)也可能污染半導(dǎo)體。要保證半導(dǎo)體的質(zhì)量和 LED 或晶體管的效率，我們的材料必須無雜質(zhì)。我們保證材料純度高于 99.97%。

  • 蒸氣壓低：


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