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深圳市天鉉真空技術(shù)有限公司
中級(jí)會(huì)員 | 第4年

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HORIBA STEC流量計(jì)LF-410A-EVD TEOS 4g/min液質(zhì)壓力計(jì)

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HORIBA STEC LF-F404M-A-EVD OMCTS 5g/min液質(zhì)流量計(jì)

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Debbbbbbion注入機(jī) FILAMENT P.S電源MKS薄膜真空壓力計(jì)750C11MGA4GF


Aviza/SPTS Omega ICP etcher configuration inbbbbation:

1.Configured for 8'' wafer

2.automatic wafer handling

3.Cl2 based etching process

4.3 process modules

5.Inspected by SPTS OEM engineer

6.Missing 1x Mag7 robot

7.Missing 1x VCE B controller

8.Missing 1x 24V DC Power supply


sell  Exchang  Repair Debbbbbbion注入機(jī) FILAMENT P.S電源


ETCH主要產(chǎn)品涉及金屬加工件chamber Linear/heater/slit door）；密封件；以及ESC（包括ESC 翻 新

延長(zhǎng)了使用壽命




加熱元件的發(fā)熱越有效，需要對(duì)它們進(jìn)行的加熱就越少。Plansee 研發(fā)了一種能夠熱輸出的涂層工藝。



鎢基層具有高孔隙率的

  • 鉬（熔點(diǎn)：2620°C）和鎢（熔點(diǎn)：3420°C）均是難熔金屬，高熔點(diǎn)使它們非常適合用于諸如 MOCVD 和 MBE 之類(lèi)的高溫工藝。
  • 耐腐蝕：
    鉬和鎢在各種環(huán)境中都具有耐腐蝕性，甚至在溫度下也是如此：
鉬 鎢
氨氣
  • 在操作過(guò)程中，反應(yīng)室部件中的雜質(zhì)也可能污染半導(dǎo)體。要保證半導(dǎo)體的質(zhì)量和 LED 或晶體管的效率，我們的材料必須無(wú)雜質(zhì)。我們保證材料純度高于 99.97%。

  • 蒸氣壓低：


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