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Union光學(xué)EMA-400臺式面罩對準(zhǔn)器打印機
Union光學(xué)高品質(zhì)物鏡NPLM20X消色差物鏡
Union光學(xué)GP-101/102旋轉(zhuǎn)樣品研磨機拋光機
| 產(chǎn)地 | 進口 | 加工定制 | 否 |
|---|
Union光學(xué)EMA-400臺式面罩對準(zhǔn)器打印機
Union光學(xué)EMA-400臺式面罩對準(zhǔn)器打印機
EMA-400 臺式面罩對準(zhǔn)器緊湊、高性能、低成本的桌面曝光系統(tǒng)，非常適合研發(fā)。該產(chǎn)品是一款節(jié)省空間、易于操作、高性能、低成本的掩模對準(zhǔn)器，非常適合大學(xué)和企業(yè)實驗室使用。該產(chǎn)品在同類產(chǎn)品中采用雙物鏡顯微鏡和積分鏡頭（照明系統(tǒng)），可實現(xiàn)高精度對準(zhǔn)和打印。
面罩尺寸 | 5 英寸 |
晶圓尺寸 | φ4英寸 |
曝光照明 | 250W超高壓汞燈 |
光學(xué)系統(tǒng) 積分器透鏡系統(tǒng) | |
照度不均度±5%以下 | |
照度 20mW/cm2 (405nm) | |
有效曝光范圍 φ100mm | |
曝光：由數(shù)字定時器驅(qū)動的旋轉(zhuǎn)螺線管 | |
曝光模式 | 軟接觸，硬接觸 |
解決 | 2 μm（用于硬接觸） |
對齊范圍 | 雙物鏡顯微鏡 |
10x 物鏡 x 2 (NA0.15 WD30mm) | |
物距 15 至 75mm | |
目鏡 NWF10×（視場數(shù) 18） | |
整體放大倍數(shù) 100x | |
晶圓臺 | XY平臺行程±5mm |
θ旋轉(zhuǎn)行程±5° | |
Z軸行程 0～4mm | |
對齊方式 | 通過移動晶圓臺手動對準(zhǔn) |
對準(zhǔn)精度 | ±3μm |
安裝尺寸 | 735(W)×490(D)×605(H)mm |
安裝重量 | 約90公斤 |
公用事業(yè) | 電源 AC100V 15A 50/60Hz |
真空度（壓力）21.3kPa（大氣壓-80kPa） | |
N2氣體或干燥空氣（壓力）0.2MPa以上 |
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