KURODA黑田精工Nanometro® TT 表面形狀測(cè)量裝置

KURODA黑田精工Nanometro® TT 表面形狀測(cè)量裝置

超精密表面形狀測(cè)量裝置，Nanometro® TT 系列，Nanometro® 300PT，超精密平面度測(cè)量裝置SF-640M，Nanometro® FR系列

產(chǎn)品介紹

NanoMetro TT系列是垂直旋轉(zhuǎn)/邊緣夾持型晶圓平整度測(cè)量裝置。最小邊緣排除為 1mm，并且可以使用盒到盒進(jìn)行高精度自動(dòng)測(cè)量。此外，評(píng)估項(xiàng)目符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)。

Nanometro® 300PT

用于成膜過(guò)程控制和夾緊過(guò)程平面度控制

水平旋轉(zhuǎn)、真空吸盤式φ300mm晶圓表面形狀檢查裝置。

最小邊緣排除為 1mm?？梢灾鸷羞M(jìn)行 SORI、平面度等高精度自動(dòng)測(cè)量。

Nanometro® F 系列

高精度測(cè)量晶圓、FPD玻璃基板等的表面形狀。

采用高剛性的高精度空氣平臺(tái)，可高精度測(cè)量晶圓、FPD玻璃基板、大型陶瓷平臺(tái)、精密工作臺(tái)等大型元件的表面形狀。通過(guò)簡(jiǎn)單的操作即可輸出從表面形狀分析評(píng)價(jià)到粗糙度評(píng)價(jià)等各種數(shù)據(jù)。

“超精密平面度測(cè)量裝置SF-640M"是作為精密平面磨床加工的模具等工件的精度評(píng)價(jià)系統(tǒng)而開發(fā)的。本機(jī)應(yīng)用了作為本公司的硅晶片用超精密測(cè)量裝置的「納米Metro」的技術(shù)和經(jīng)驗(yàn)技術(shù)，使平面和邊緣的高精度的評(píng)價(jià)成為可能，用鳥瞰圖和斷面圖，等高線等各種各樣的形式評(píng)價(jià)平面形狀。

Nanometro® FR 系列

陶瓷板等平面度的高精度測(cè)量

配備旋轉(zhuǎn)氣動(dòng)工作臺(tái)，可測(cè)量直徑達(dá) 1000mm 的圓盤表面形狀，例如用于晶圓拋光的陶瓷板和研磨臺(tái)。我們提供支持各種測(cè)量的軟件，包括用于詳細(xì)評(píng)估的同心測(cè)量和用于粗略評(píng)估的徑向測(cè)量。