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MCE和MCV系列真空氣體質(zhì)量流量控制器

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海

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更新時(shí)間：2024-07-29 10:41:40瀏覽次數(shù)：108次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

多功能。監(jiān)控流速的同時(shí)控制壓力；可選擇另一臺(tái)已知路程氣體校準(zhǔn)儀或者利用COMPOSER氣體編輯器確定自己的氣體組成。連接。利用以太網(wǎng)/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通訊選項(xiàng)，可將這款產(chǎn)品輕松整合到您的數(shù)字工業(yè)網(wǎng)絡(luò)中。耐用。MCE和MCV系列真空氣體質(zhì)量流量控制器可在不受損的情況下讓液體暫時(shí)流動(dòng)。

詳細(xì)介紹

性能

  • 可用量程：0-20 slpm；最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常備量程，請(qǐng)參見(jiàn)零件編號(hào)標(biāo)簽）
  • 可調(diào)比：200:1（MCE/MCV）或者100:1 （MCES/MCVS）
  • 標(biāo)準(zhǔn)精度（NIST可溯源）：±（0.8%讀數(shù)+0.2%滿量程）
  • 高精度（選配，NIST可溯源）：±（0.4%讀數(shù)+0.2%滿量程）
  • 可重復(fù)性：0.2%滿量程
  • 標(biāo)準(zhǔn)控制器響應(yīng)時(shí)間常數(shù)：50-100ms（若有PID調(diào)節(jié)功能，可縮短至25ms）
  • 氣動(dòng)閥漏氣率（僅MCV系列）：1 x 10-9 atm scc/sec（值，氦氣）
  • 無(wú)需預(yù)熱時(shí)間

工作條件

  • 兼容氣體：98種（MCE/MCV系列）或130種（MCES/MCVS系列）預(yù)置可選氣體；利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體
  • 工作溫度：-10°C至+60°C
  • 內(nèi)部壓力（靜態(tài)）：145 psig（160 psia）
  • 耐受壓力：175 psig（190 psia）
  • STP/NTP：用戶可選（默認(rèn)為25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP）

MCE或MCV系列包裝清單：

  • MCE和MCV系列真空氣體質(zhì)量流量控制器（電源需另行訂購(gòu)）
  • NIST可溯源校準(zhǔn)證書
  • 艾里卡特操作說(shuō)明書

配件（需另行訂購(gòu)）

  • 過(guò)程端口接頭和過(guò)濾器
  • 電源
  • 通訊線纜和轉(zhuǎn)換線纜
  • BB3和BB9多點(diǎn)式集線盒
  • Flow Vision軟件

型號(hào)變體

  • 閥門內(nèi)置（確保與SEMI端口長(zhǎng)度一致）型號(hào)（MCE系列）
  • 閥門內(nèi)置并加裝氣動(dòng)截止閥的型號(hào)，適合真空應(yīng)用（MCV系列）
  • 腐蝕性氣體型號(hào)（MCS系列，見(jiàn)下文）

另有：

  • 閥門安裝在外部的標(biāo)準(zhǔn)配置型號(hào)(MC系列)

閥門選項(xiàng)

您可以為您的質(zhì)量流量控制器定制以下一種閥門，以確保在預(yù)期過(guò)程條件下保持性能。

  • MCE系列—選配外部安裝的小型比例控制閥
  • MCV系列—選配內(nèi)部安裝的小型比例控制閥以及外部下游安裝的氣動(dòng)截止閥

腐蝕性氣體（MCES和MCVS系列）

MCE和MCV系列真空氣體質(zhì)量流量控制器中，還有適用于腐蝕性氣體的“S"系列配置（即MCES和MCVS系列）可供選擇。在該配置中，我們將閥門升級(jí)為303不銹鋼閥門，傳感器升級(jí)為316L不銹鋼傳感器，彈性體材料升級(jí)為FFKM。

結(jié)構(gòu)選項(xiàng)

  • 通訊協(xié)議（模擬通訊，RS-232、RS-485、DeviceNet、EtherCAT、以太網(wǎng)/IP、Modbus RTU或TCP/IP、PROFIBUS）
  • 顯示屏（單色或彩色，內(nèi)置或面板安裝）
  • 工藝連接件（NPT、SAE、AN、BSPP/G、焊接壓縮或VCR/VCO配件）
  • 彈性體材料（氟橡膠、FFKM、EPDM、硅樹脂）

性能選項(xiàng)

  • 流量累加器
  • 集成式電位計(jì)控制
  • 高精度或自定義校準(zhǔn)

艾里卡特MCE系列真空氣體質(zhì)量流量控制器采用內(nèi)部安裝的小型比例閥門控制較小流量，適用于非腐蝕性氣體。

MCE-0.5SCCM-D
MCE-1SCCM-D
MCE-2SCCM-D
MCE-5SCCM-D
MCE-10SCCM-D
MCE-20SCCM-D
MCE-50SCCM-D
MCE-100SCCM-D
MCE-200SCCM-D
MCE-500SCCM-D
MCE-1SLPM-D
MCE-2SLPM-D
MCE-5SLPM-D
MCE-10SLPM-D
MCE-20SLPM-D

艾里卡特MCES系列真空氣體質(zhì)量流量控制器采用內(nèi)部安裝的小型比例閥門控制較小流量，適用于腐蝕性氣體。

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艾里卡特MCV系列真空氣體質(zhì)量流量控制器采用內(nèi)部安裝的小型比例閥門控制較小流量，適用于非腐蝕性氣體。MCV還配有一個(gè)下游用的氣動(dòng)截止閥。

MCV-0.5SCCM-D
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MCV-2SLPM-D
MCV-5SLPM-D
MCV-10SLPM-D
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艾里卡特MCVS系列真空氣體質(zhì)量流量控制器采用內(nèi)部安裝的小型比例閥門控制較小流量，適用于腐蝕性氣體。MCVS還配有一個(gè)下游用的氣動(dòng)截止閥。

MCVS-0.5SCCM-D
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反應(yīng)濺射氣體流量控制

以50ms控制響應(yīng)速度精確控制真空室內(nèi)反應(yīng)氣體的分壓以避免靶件噴涂過(guò)度，良好的分辨率保證了適當(dāng)?shù)脑俞尫?，氣?dòng)截止閥確保無(wú)流量時(shí)的正向切斷。

 

升級(jí)您老舊的熱式質(zhì)量流量控制器只是我們艾里卡特簡(jiǎn)化真空鍍膜所用的一種方式。

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