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當(dāng)前位置:HORIBA-堀場(chǎng)(中國(guó))貿(mào)易有限公司>>半導(dǎo)體制程監(jiān)控>>小型工藝氣體分析儀>> 小型工藝氣體分析儀MICROPOLE系統(tǒng)-電子/半導(dǎo)體檢測(cè)儀器 上海分析儀MICROPOLE系統(tǒng)
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更新時(shí)間:2025-02-27 19:10:34瀏覽次數(shù):53次
聯(lián)系我時(shí),請(qǐng)告知來自 儀表網(wǎng)小型工藝氣體分析儀MICROPOLE系統(tǒng)
小型工藝氣體分析儀MICROPOLE系統(tǒng)與傳統(tǒng)的質(zhì)量能譜儀相比,這種排列方式可以提供相近或者更好的靈敏度,但只占傳統(tǒng)質(zhì)量能譜儀的一小部分體積。而且,與傳統(tǒng)質(zhì)量能譜儀相比,本系統(tǒng)可以在更高的壓力環(huán)境下使用,因此,它可以減少原來需要另外配置的差壓泵設(shè)備根據(jù)可以讓用戶直接更替?zhèn)鞲衅鞯霓D(zhuǎn)移標(biāo)準(zhǔn),我們的傳感器已經(jīng)在工廠進(jìn)行過預(yù)先調(diào)諧和校準(zhǔn)處理,無需專業(yè)的技術(shù)性再校準(zhǔn)當(dāng)你使用帶有3.5寸LCD顯示屏的監(jiān)測(cè)控制器時(shí),不經(jīng)過電腦進(jìn)行數(shù)據(jù)提取也是可行的。升級(jí)到八電極系統(tǒng)后,它可以通過RS485或者以太網(wǎng)通訊進(jìn)行網(wǎng)絡(luò)控制。
與傳統(tǒng)的殘余氣體分析儀相比,它只有其1/20的尺寸,這使它非常容易整合到您的系統(tǒng)之中。
在只占傳統(tǒng)電極一小部分的體積里,微型化的九電極排列提供了*的靈敏度。
可以在高于0.9Pa(7mTorr, 9 x 10-3mbar)的壓力條件下使用,在許多需要昂貴真空泵的應(yīng)用當(dāng)中,可以簡(jiǎn)化或者省略泵的使用。
此傳感器接頭在出貨之前已經(jīng)進(jìn)行過預(yù)調(diào)諧和校準(zhǔn)。允許客戶自己在現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行傳感器的更換而不需要任何微調(diào)或者技術(shù)性專家鑒定。
升級(jí)到八電極后,可以通過一臺(tái)使用RS485接口的電腦進(jìn)行監(jiān)測(cè)。此系統(tǒng)也可以通過以太網(wǎng)進(jìn)行遠(yuǎn)程監(jiān)測(cè)。
微電極掃描軟件允許用戶用各種不同的方式監(jiān)測(cè)氣體的部分壓力,如趨勢(shì)曲線圖,相似性曲線圖,泄露模式,條形統(tǒng)計(jì)圖,3D等
可選擇性的監(jiān)測(cè)控制器可以直接安裝在反應(yīng)室的光譜發(fā)生器上,使用戶無需電腦就可以監(jiān)測(cè)真空反應(yīng)室。
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