自動增壓器UR-7300 系列

自動增壓器UR-7300 系列壓力調(diào)節(jié)器是具有高精度壓力傳感器、高分辨度和快速反應(yīng)壓電陶瓷做動閥門的電子調(diào)節(jié)器。它通過接收到的外部控制信號對壓力進(jìn)行控制。氣體接觸區(qū)域的全金屬結(jié)構(gòu)設(shè)計（金屬型號）使這些部件非常適合于那些超純氣供應(yīng)系統(tǒng)的超潔凈環(huán)境壓力控制。

HORIBA STEC公司的質(zhì)量流量控制器在流體流速的精確控制方面是非常有名的，并且它在市場的也獲得了非常大的*。HORIBA STEC公司將自己的質(zhì)量流量控制技術(shù)運(yùn)用到了新的領(lǐng)域---壓力控制。HORIBA STEC公司的這套壓力控制系統(tǒng)包含了超潔凈自動壓力調(diào)節(jié)器；對于GR-300系列產(chǎn)品而言，它是通過與質(zhì)量流量控制器工程師們一起合作而開發(fā)的世界上zui小尺寸的芯片背面冷卻系統(tǒng)；EC系列產(chǎn)品是為反應(yīng)室內(nèi)部控壓而設(shè)計的排氣壓力控制器；而PV系列快速反應(yīng)系統(tǒng)是以金屬密封圈封裝的壓電陶瓷閥門為特色的。HORIBA STEC公司也可以提供那些通過多維空間技術(shù)設(shè)計的流量和壓力控制系統(tǒng)。

當(dāng)壓力源發(fā)生改變的時候，可以實現(xiàn)快速、準(zhǔn)確的壓力調(diào)整。特別是壓力源突然變化的時候，這種快速準(zhǔn)確的反應(yīng)尤為重要。帶有壓力調(diào)整設(shè)備的話，由于提供了反應(yīng)靈敏和壓力可調(diào)整地特性，可以有效的控制質(zhì)量流量控制器內(nèi)的次級壓力。此外，在一些非常小的流量范圍，如果壓力調(diào)整分辨率不夠高，也容易產(chǎn)生振蕩現(xiàn)象。高精度、高反應(yīng)速度的UR系列產(chǎn)品為大家解決了這個問題，提供了準(zhǔn)確和穩(wěn)定的壓力控制。