超純水管理用 高靈敏度硅表 SLIA-300

在半導(dǎo)體/FPD工藝中，超純水中的二氧化硅濃度會給產(chǎn)品精度以及原材料利用率帶來很大影響。高靈敏度硅表超純水管理用 高靈敏度硅表 SLIA-300完*夠達到1μg/L(1ppb)等級的檢測要求。在其小巧的臺式型機身中可實現(xiàn)在整個檢測范圍內(nèi)的高靈敏度檢測。連同HORIBA享有好評的一些基本特性，例如高速響應(yīng)性以及自我診斷功能等，其值得夸耀的表現(xiàn)將靈敏度帶入了一個新的等級。SLIA-300為半導(dǎo)體/FPD制造流程中的純水工藝提供了強有力的支持。

特征：

●高靈敏度、以及較高的重復(fù)性。
利用HORIBA新開發(fā)的，*檢測單元，實現(xiàn)了應(yīng)對低濃度的高靈敏度測量。通過5分鐘的高速測量，可保證在0?2μg/L量程中實現(xiàn)全刻度±2%的重復(fù)性。

●小巧設(shè)計的臺式型。
新開發(fā)的檢測單元技術(shù)，實現(xiàn)了劃時代的小巧設(shè)計。由于是臺式型，所以可以適用于各種各樣設(shè)置條件等較小空間。也可以作為移動式使用。

●試劑的消耗量可降低80%。
采用改良型檢測單元，可以把試劑的消耗量降低到原來的80%。能夠大幅地削減試劑的經(jīng)費成本。

●zui多可檢測6個點。(可選件)
支持多點檢測，SLIA-300支持的多點檢測。檢測點數(shù)可以在1和6之間進行任意設(shè)定。