脈沖電源

時(shí)間：2010/10/14閱讀：5956

　脈沖電源：impulsing power source

　　用戶的負(fù)載需要斷續(xù)加電，即按照一定的時(shí)間規(guī)律，向負(fù)載加電一定的時(shí)間，然后又?jǐn)嚯娨欢ǖ臅r(shí)間，通斷一次形成一個(gè)周期。如此反復(fù)執(zhí)行，便構(gòu)成脈沖電源。例如對(duì)于無極性電解電容器的老練工藝中，需要給電容器正向充電一段時(shí)間，然后放電，然后反向給電容器充電一段時(shí)間，然后放電，如此便形成正向→放電（斷電）→反向→放電→正向……，如此反復(fù)。

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脈沖電源技術(shù)的基本工作原理

　　首先經(jīng)過慢儲(chǔ)能，使初級(jí)能源具有足夠的能量；然后向中間儲(chǔ)能和脈沖成形系統(tǒng)充電（或流入能量），能量經(jīng)過儲(chǔ)存、壓縮、形成脈沖或轉(zhuǎn)化等某些復(fù)雜過程之后，zui后快速放電給負(fù)載。

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脈沖電源的主要研究方向

　　①提高脈沖重復(fù)頻率。通過提高脈沖的重復(fù)頻率，不僅提高脈沖電源的平均功率，而且減小電源的體積和降低造價(jià)。

　　②提高電源效率，降低電源自身能耗。

　　③提高電源系統(tǒng)的可靠性，脈沖放電產(chǎn)熱和高頻電磁干擾對(duì)系統(tǒng)可靠性造成嚴(yán)重的影響。

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脈沖電源的應(yīng)用

　　脈沖電源用于電鍍金、銀、鎳、錫、合金時(shí)，可明顯改善鍍層的功能性；用于防護(hù)-裝飾性電鍍（如裝飾金）時(shí)，可使鍍層色澤均勻一致，亮度好，耐蝕性強(qiáng)；

　　脈沖電源用于貴金屬提純時(shí)，貴金屬的純度更高。脈沖電源優(yōu)于傳統(tǒng)的電鍍電源，是電鍍電源的發(fā)展方向。

　　雙脈沖電源比單脈沖電源電鍍更細(xì)致，光潔度更好。雙脈沖電源的反向脈沖的陽極化溶解使陰極表面金屬離子濃度迅速回升，這有利于隨后的陰極周期使用高的脈沖電流密度，因而鍍層致密、光亮、孔隙率低；雙脈沖電源的反向脈沖的陽極剝離使鍍層中有機(jī)雜質(zhì)（含光亮劑）的夾附大大減少，因而鍍層純度高，抗變色能力強(qiáng)。

　　雙脈沖電源適用于金、銀、稀有金屬、鎳、鋅、錫、鉻及合金等的電鍍；銅、鎳等的電鑄；電解電容的敷能；鋁、鈦等制品的陽極氧化；精密零件的電解拋光；蓄電池的充電等。

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脈沖電源的選擇

　　按電鍍工藝的不同要求，選擇脈沖電源：

　　普通電鍍工藝，容量小于3kW的整流器可以選擇單相輸入電源；而容量大于3KW時(shí)，為了防止電網(wǎng)電壓的不平衡，應(yīng)選擇三相輸入電源。對(duì)波紋系數(shù)要求比較高的特殊電鍍工藝（鍍硬鉻等），波形的連續(xù)性尤為重要，可以選擇調(diào)壓器調(diào)壓的硅整流器或增加濾波器的晶閘管整流器。

　　特殊電鍍工藝對(duì)輸出波形也有一定的要求，如一次換向、周期換向、單向脈沖、雙向脈沖、直流疊加脈沖、直流疊加交流和多段混合波形等。產(chǎn)品的輸出波形不同，所對(duì)應(yīng)的用途也就不同。電源生產(chǎn)廠家針對(duì)不同的輸出波形和用途，規(guī)定了不同的型號(hào)，因此根據(jù)需要的輸出波形，即可選擇電源種類

人們期望從脈沖電源電鍍的應(yīng)用中得到什么?

脈沖電源比直流電源貴得多，人們期望從脈沖電源中得到更好的鍍液和鍍層性能。具體說來，就是：

得到更致密、更均勻的鍍層；

減少鍍層孔隙率，提高抗蝕力；降低鍍層內(nèi)應(yīng)力和脆性；

減少氫氣析出，從而減少以至消除氫脆；

降低濃差極化，提高電鍍可以使用的電流密度，從而提高鍍速；改善鍍層分布，特別改善小孔內(nèi)的電鍍效果；

增加鍍層的電導(dǎo)率；

減少甚至可以不使用添加劑等等。

但是，用什么樣的脈沖電源，采用什么樣的脈沖參數(shù)，與什么樣的設(shè)備和溶液相配合，才能達(dá)到上述的某些效果，這需要通過實(shí)驗(yàn)來探索。不要以為一用脈沖電源就能達(dá)到上述所有效果。請(qǐng)記住，達(dá)到其中某些效果就不錯(cuò)了，同時(shí)達(dá)到上述所有效果是不可能的，有時(shí)一個(gè)效果也達(dá)不到。在達(dá)到了想要的效果以后，還要考慮在經(jīng)濟(jì)上是否合算，再來決定是否投資，這樣比較理性。

AE電源

　　美國(guó)Advanced Energy（優(yōu)儀）公司生產(chǎn)的大功率開關(guān)電源產(chǎn)品,因其率,高精密,大功率和高工藝制程的可控性,被廣泛運(yùn)用于現(xiàn)代工業(yè)鍍膜行業(yè)中,是鍍膜工藝中*的高科技電源產(chǎn)品,有直流,中頻,射頻等電源產(chǎn)品,使用的行業(yè)包括半導(dǎo)體晶圓、光磁存儲(chǔ)媒體、太陽能、玻璃鍍膜、平板顯示器、裝飾鍍、工具鍍鈦、類金鋼石鍍膜等。AE電源有很多系列,每一個(gè)系列中都有很多型號(hào),以適應(yīng)不同的工業(yè)產(chǎn)品的需要.在直流產(chǎn)品系列中,AE電源的早期的MDX,MDXII,和后來的Pinnacle*代,Pinnacle第二代以及Diamond系列,分別有8KW,10KW,15KW等不同的功率。

　　AE電源是工業(yè)電源的者，性能穩(wěn)定，品質(zhì)可靠。

　　優(yōu)儀（Advanced Energy）半導(dǎo)體（上海）設(shè)備有限公司是優(yōu)儀（Advanced Energy）公司中國(guó)地區(qū)*維修中心。提供專業(yè)，正規(guī)的維修。

　　產(chǎn)品型號(hào)：

　　電源系統(tǒng)

直流電源	低/中頻系列	網(wǎng)絡(luò)匹配器	射頻系列	射頻測(cè)量?jī)x器
直流脈沖產(chǎn)品套件　　PINNACLE 系列　　Pinnacle Plus+ 　　Pinnacle3000 　　Pinnacle Diamond™ 　　MDX 系列 500 W 　　MDX 系列 1 kW 與 1.5 kW 　　®	PDX 　　PEII 低頻系列　　LFGS 　　RAS 　　Crystal	Navigator 數(shù)位字匹配系統(tǒng)網(wǎng)絡(luò) 　　VarioMatch™	Paramount 　　Apex 　　HFV 　　Cesar 　　HiLight 　　Integro 　　Ovation	GenCal

　　直流脈沖產(chǎn)品套件

　　AE 的脈沖產(chǎn)品系列具有各種功能，能夠滿足您所有的困難和各式各樣的工藝要求。這個(gè)靈活的直流脈沖附件系列提供 10-200kW 的功率以及 2-100kHz 的固定和可變頻率。這個(gè)系列的每一項(xiàng)產(chǎn)品在設(shè)計(jì)上均具有相當(dāng)?shù)奶攸c(diǎn)，能夠針對(duì)反應(yīng)和直流濺射提供經(jīng)證實(shí)的優(yōu)勢(shì)。

優(yōu)勢(shì)	特點(diǎn)
功能廣泛靈活的直流脈沖附件系列通過允許在更大功率下運(yùn)行，提高吞吐量減少靶材污染提高 10-200kW 的功率提供 2-100kHz 的固定和可變頻率	出色的弧控制——在很多情況下，弧*被消除。離子能量更高更大功率運(yùn)行基材溫度更低靶材溫度更低工藝靈活性和寬容度系統(tǒng)整合容易雙陰極功能（Astral® 產(chǎn)品）

　　Pinnacle 系列

　　業(yè)界*的 Pinnacle 直流電源平臺(tái)具有的工藝一致性和控制功能，從而大大減少了工藝變化，提高了產(chǎn)量。這個(gè)緊湊、功能強(qiáng)大的套件提供了業(yè)界zui低的存儲(chǔ)能量、zui快的弧反應(yīng)以及zui廣的全功率運(yùn)行阻抗范圍。

優(yōu)勢(shì)	特點(diǎn)
zui低的運(yùn)行和安裝成本業(yè)界zui快的弧反應(yīng)時(shí)間可配置的弧反應(yīng)參數(shù)zui大的工藝效率的工藝控制	zui低的存儲(chǔ)能量——每千瓦輸出不到 1mJ 無需調(diào)節(jié)輸出變壓器 4:1的阻抗范圍靶材處理時(shí)間——zui大限度地縮短新靶材的處理時(shí)間 ±0.1%的輸出重復(fù)性 Joule 模式——*化的能量傳送

　　Pinnacle Plus+

　　Advanced Energy （AE）的 Pinnacle Plus+ 電源為單體直流脈沖電源，為您的反應(yīng)工藝提供脈沖直流電解決方案所有優(yōu)點(diǎn)，包括使用簡(jiǎn)單、節(jié)約成本以及具有的靈活性。結(jié)合標(biāo)準(zhǔn)直流電技術(shù)和經(jīng)過工藝證明的脈沖直流電技術(shù)，Pinnacle Plus+ 電源與復(fù)雜而昂貴的交流電解決方案相比，沉積率更高，重復(fù)性能更好，薄膜質(zhì)量更為優(yōu)異。

優(yōu)勢(shì)	特點(diǎn)
更高的沉積率與產(chǎn)品率薄膜均勻性和品質(zhì)*成弧造成的基材損壞減少成本更低系統(tǒng)整合容易的工藝靈活性和寬容度重復(fù)性能在過度曲線上運(yùn)行穩(wěn)定吞吐量更高便于監(jiān)控的系統(tǒng)靈活性	一個(gè)緊湊型封裝頻率調(diào)節(jié)范圍為 5-350kHz 占空比高達(dá)45% 電壓范圍寬——單輸出寬阻抗范圍大功率運(yùn)行基材溫度低單輸出（5kW 和 10kW 型號(hào)）用于雙陰極生產(chǎn)的雙輸出（雙路5kW 型號(hào)）的弧控制反應(yīng)性濺射閉環(huán)控制

　　Pinnacle 3000

　　Advanced Energy 的 Pinnacle 3000 直流電源提供zui高的效率和功率因素，從而帶來業(yè)界zui低的運(yùn)行和安裝成本。 Pinnacle 工藝一致性和控制帶來的額外好處是使在正常濺射工藝和偏壓應(yīng)用中的工藝變化明顯減少、產(chǎn)量提高。

優(yōu)勢(shì)

特點(diǎn)

經(jīng)過證明的 Pinnacle 性能和可靠性zui大的工藝效率——zui低的運(yùn)行和安裝成本通用性——在濺射工藝和偏壓應(yīng)用上均表現(xiàn)出色快速、可配置的弧反應(yīng)——弧損傷少的工藝控制多種顯示/控制選擇符合安全/輻射標(biāo)準(zhǔn)

業(yè)界zui高的效率和功率因素緊湊——在一個(gè) 2-U、1/2支架封裝中，功率達(dá) 3000W 單輸出抽頭，疲憊范圍廣泛 Profibus 和 RS-232 串行通信靶材處理時(shí)間——zui大限度地縮短新靶材的處理時(shí)間僅400 VAC 輸入存儲(chǔ)能量低——每千瓦輸出不到6 mJ 在大于15%的功率下，輸出重復(fù)性為±0.1% Joule 模式——*化的能量傳送對(duì)輸出電平、擊穿電壓和工藝電壓的可編程限制儲(chǔ)存設(shè)定自動(dòng)保存有 CE 標(biāo)志

　　Pinnacle Diamond™

　　在工藝和偏壓應(yīng)用中，Pinnacle Diamond™ 直流電源都能提供zui高的效率和功率因素，從而帶來業(yè)界zui低的運(yùn)行和安裝成本。 Pinnacle 的工藝一致性和控制帶來的額外益處是通過一個(gè)極其緊湊的部件大大減少了變化、提高了產(chǎn)量。

優(yōu)勢(shì)

特點(diǎn)

經(jīng)過證明的 Pinnacle 性能和可靠性zui大的工藝效率——zui低的運(yùn)行和安裝成本通用性——在工藝和偏壓應(yīng)用上均表現(xiàn)出色快速、可配置的弧反應(yīng)——弧損傷少眾多顯示/控制選項(xiàng)的工藝控制符合安全/輻射標(biāo)準(zhǔn)

業(yè)界zui高的效率和功率因素緊湊——在一個(gè) 3-U、1/2支架封裝中，功率高達(dá) 15kW 單輸出抽頭，匹配范圍廣泛 Profibus 和 RS-232 串行通信靶材處理時(shí)間——zui大限度地縮短新靶材的處理時(shí)間水冷式僅400 VAC 輸入存儲(chǔ)能量低——每千瓦輸出不到6 mJ 在大于15%的功率下，輸出重復(fù)性為±0.1% Joule 模式——*化的能量傳送對(duì)輸出電平、擊穿電壓和工藝電壓的可編程限制儲(chǔ)存設(shè)定自動(dòng)保存有 CE 標(biāo)志

　　MDX 系列500 W

　　MDX 500 在真空環(huán)境中經(jīng)久耐用，能夠在磁控環(huán)境中對(duì)不同類型的弧進(jìn)行多級(jí)抑制和滅弧。在基本磁控濺射、射頻偏壓直流濺射以及直流偏壓射頻濺射中表現(xiàn)*。其小巧的尺寸使其非常適合于實(shí)驗(yàn)室系統(tǒng)和小規(guī)模的生產(chǎn)環(huán)境。

優(yōu)勢(shì)	特點(diǎn)
超載內(nèi)置保護(hù)可靠性和耐用性快速反應(yīng)時(shí)間兼容性認(rèn)證	多級(jí)弧抑制及滅弧用戶I/O接入功率、電流或電壓調(diào)節(jié)功能

　　MDX 系列1 kW 和1.5 kW

　　MDX 系列1 kW 和1.5 kW 電源在真空環(huán)境中經(jīng)久耐用，其小巧的尺寸使其成為實(shí)驗(yàn)室系統(tǒng)的理想解決方案。它們zui常用作直流磁控濺射電源；在該領(lǐng)域，二者精密的調(diào)節(jié)性能、*的滅弧功能和較低的存儲(chǔ)輸出能量使之成為業(yè)界產(chǎn)品。它們還在射頻濺射和蝕刻系統(tǒng)中被用作精密調(diào)節(jié)的偏壓電源。

優(yōu)勢(shì)	特點(diǎn)
針對(duì)標(biāo)準(zhǔn) Z 和低 Z 應(yīng)用的兩種配置高頻開關(guān)電路從線路到負(fù)載的效率超過90% Arc-Out™ 抑制電路常用作直流磁控濺射電源	尺寸小輸出紋波很低可調(diào)節(jié)抑弧

　　E'Wave 雙極脈沖直流電系列

　　Advanced Energy 的 E'Wave 雙極脈沖直流電源改善了表面均勻性，減少了DDPF工藝流程（dual-damascene process flow, DDPF）應(yīng)用的鍍銅階段之附加消耗，包括在生產(chǎn)環(huán)境和銅工藝開發(fā)中的晶圓電鍍。E'Wave 電源提供多達(dá)三個(gè)通道，每個(gè)都有一個(gè)獨(dú)立驅(qū)動(dòng)的雙極電源，能夠生成、存儲(chǔ)和運(yùn)行多達(dá)15個(gè)由電流控制或由電壓控制的波形。

優(yōu)勢(shì)	特點(diǎn)
的填隙*的表面均勻性降低了附加消耗強(qiáng)有力的監(jiān)控減少了無塵室空間要求廣泛的配置選擇	通用波形形成多達(dá)三個(gè)獨(dú)立控制的通道雙極脈沖直流電輸出，0-5kHz 高電流能力四終端控制和晶圓的電壓測(cè)量主機(jī)接口緊湊型封裝

　　PDX 中頻電源

　　PDX 系列小功率（1250和1400 W）及大功率（5000和8000 W）中頻電源為各種廣泛的工藝應(yīng)用提供一種、緊湊、易于整合的電源。這些高度可靠的電源提高了工藝靈活性，提供廣泛的運(yùn)行頻率范圍以優(yōu)化工藝控制，確保較高的工藝重復(fù)性，并提高了吞吐量。

　　PEII 低頻系列

　　PEII 低頻系列電源提供40 kHz 脈沖輸出，具有增強(qiáng)的弧控制以及與高達(dá)60 kW 的輸出功率，該系列電源具有極寬的匹配阻抗，無輸出變壓器等外部組合硬件，特別適用于反應(yīng)濺射。

優(yōu)點(diǎn)	功能
恒功率、電壓或電流輸出zui高的靈活性與模塊性強(qiáng)大的電弧控制自動(dòng)制程保護(hù)裝置極寬的祖抗匹配范圍高功率密度	5 kW 和 10 kW 選項(xiàng)（主/從至多達(dá)到60 kW）內(nèi)部負(fù)載匹配（10:1 阻抗范圍）兩種不同的弧處理電路能、緊湊型水冷式設(shè)計(jì)多種可選配件符合 CE 標(biāo)準(zhǔn)

　　LFGS 射頻發(fā)生器

　　LFGS 發(fā)生器是用于半導(dǎo)體生產(chǎn)和一般等離子處理的多功能射頻發(fā)生器。此類可變頻率發(fā)生器采用了一種半橋、D 類型放大器理念，擁有一種空冷式緊湊型的設(shè)計(jì)，可安裝在19英寸機(jī)架上面。典型的應(yīng)用包括濺射、等離子蝕刻、化學(xué)氣象沉積、聚合以及表面處理。

優(yōu)點(diǎn)	功能
可達(dá)到目前市場(chǎng)上可獲得的zui低反射功率	空冷式設(shè)計(jì)多功能前面板脈沖模式：0到 10kHz 更完善的操作功能表 2個(gè)模擬用戶端口 RS-232 接口、以太網(wǎng)接口及 PROFIBUS 接口

　　RAS 冗余陽極濺射分流感應(yīng)器

　　AE 的冗余陽極濺射（RAS）分流感應(yīng)器消除了單靶材反應(yīng)濺射工藝的陽極消失的問題，從而能夠使此類系統(tǒng)接近直流濺射率。RAS 感應(yīng)器新穎的設(shè)計(jì)中包括了兩個(gè)陽極和一個(gè)陰極，從而便于對(duì)現(xiàn)有的系統(tǒng)進(jìn)行改進(jìn)。主要應(yīng)用為配合PEII低頻電源進(jìn)行單靶磁控濺射。

優(yōu)勢(shì)	特點(diǎn)
消除了陽極消失的現(xiàn)象便于對(duì)現(xiàn)有的單陰極系統(tǒng)進(jìn)行改進(jìn)減小了系統(tǒng)的空間要求能夠?qū)崿F(xiàn)高速率的介質(zhì)反應(yīng)濺射確保了均勻的沉積率促進(jìn)電力的有效使用，簡(jiǎn)化維護(hù)成本低于雙陰極結(jié)構(gòu)幾乎消除了弧	單陰極結(jié)構(gòu)自清洗雙陽極低頻直流電源輸入基材偏壓便于改進(jìn)的設(shè)計(jì)

　　Crystal

　　Advanced Energy （AE）的 Crystal 電源非常適用于大面積玻璃鍍膜應(yīng)用，如建筑玻璃、汽車玻璃、減反射鍍膜和高反射鏡等。更低的故障率，回報(bào)您更高的產(chǎn)量。這些電源的可用功率為 180kW,120KW,60KW。為雙靶磁控濺射應(yīng)用提供了更寬祖抗匹配的低頻率正弦工藝電源。AE 的 Crystal 電源是*特別為等離子環(huán)境而設(shè)計(jì)拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)的交流電大功率電源。

優(yōu)勢(shì)	特點(diǎn)
更靈活產(chǎn)量更高減少當(dāng)機(jī)時(shí)間吞吐量提高	寬阻抗匹配低頻率正弦工藝電源大功率電源——zui大180kW 功率專為等離子環(huán)境而設(shè)計(jì)

　　Navigator 數(shù)字阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)

　　Navigator 匹配網(wǎng)絡(luò)提供在各種負(fù)載阻抗下進(jìn)行快速、準(zhǔn)確且可靠匹配的先進(jìn)匹配技術(shù)。Navigator 匹配網(wǎng)絡(luò)配備了由微處理器控制的步進(jìn)電機(jī)電路和用戶可選的數(shù)字調(diào)諧算法，通過自動(dòng)調(diào)整耦合等離子的復(fù)阻抗，zui大限度地減小反射功率。選擇包括：用于實(shí)時(shí)測(cè)量和分析過程功率和阻抗的 Z’Scan® 射頻傳感器，以及能夠通過一臺(tái)個(gè)人計(jì)算機(jī)來監(jiān)控并對(duì)匹配網(wǎng)絡(luò)下達(dá)指令的虛擬前面板（VFP）軟件。

優(yōu)勢(shì)	特點(diǎn)
加強(qiáng)了工藝控制zui大限度地減小反射功率加速反應(yīng)時(shí)間有助于提高工具吞吐量和產(chǎn)量	數(shù)碼匹配平臺(tái)多種數(shù)碼調(diào)諧算法實(shí)時(shí)過程功率和阻抗測(cè)量與分析整合式儀器簡(jiǎn)化的設(shè)計(jì)嚴(yán)格的測(cè)試基于 PC 的監(jiān)控軟件

　　VARIOMATCH™ 匹配網(wǎng)絡(luò)

　　與 CESAR® 射頻發(fā)生器相配套的是一個(gè)完整系列的 Variomatch™ 自動(dòng)匹配網(wǎng)絡(luò)。Variomatch 匹配網(wǎng)絡(luò)覆蓋了各種阻抗，而且方便用戶進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)配置。高度可靠的可變真空電容、固定感應(yīng)器以及脈寬調(diào)制可控電機(jī)能給您帶來針對(duì)您等離子應(yīng)用的迅速、可重復(fù)的阻抗匹配。目前我們還提供針對(duì)感應(yīng)應(yīng)用的特殊型號(hào)產(chǎn)品?？勺兤ヅ洳僮髟跊]有任何外部控制器的情況下可自動(dòng)進(jìn)行，但是也可通過 CESAR 射頻發(fā)生器的前面板進(jìn)行手動(dòng)控制。

優(yōu)點(diǎn)	功能
擁有更強(qiáng)的靈活性，可在更廣的阻抗范圍內(nèi)進(jìn)行功率匹配操作 Greater process productivity Easy integration and control	空冷式設(shè)計(jì)可變真空電容器多種匹配接頭，阻抗范圍非常廣 Automatic, manual, and pre-set modes Plug-and-play operation High-performing components Reliable connectors Wide impedance range Digitally controlled tuning with inligent motor driver technology DC bias measurement circuit

　　Paramount 射頻功率輸送系統(tǒng)

　　這款半機(jī)架的3kW 的 Paramount 射頻（RF）功率輸送系統(tǒng)擁有更強(qiáng)的功率和阻抗測(cè)量性能，能夠在 13.56MHz 固定或可變頻率、50歐姆和非50歐姆負(fù)載下（電壓駐波比（VSWR）超過3:1），為您帶來出色的輸送功率精度和控制性能。能夠與zui突然變化的等離子阻抗保持實(shí)時(shí)同步，Paramount 射頻功率輸送系統(tǒng)能為新一代技術(shù)節(jié)點(diǎn)帶來更快的轉(zhuǎn)換速度、更少的制程步驟以及更短的制程時(shí)間。其阻抗測(cè)量精度可與網(wǎng)絡(luò)分析儀的水平相媲美，而可選頻率的調(diào)諧幾乎可以瞬間實(shí)現(xiàn)（達(dá)到毫秒數(shù)量級(jí)），其速度較市場(chǎng)上的任何其它產(chǎn)品都快。從而實(shí)現(xiàn)真正的性、可重復(fù)性和對(duì)制程的控制。

優(yōu)點(diǎn)	特點(diǎn)
憑借的功率輸送精度，實(shí)現(xiàn)的薄膜均勻度與傳送效能（throughput）的*化以更快的制程轉(zhuǎn)換來支持新一代蝕刻與沉積制程幫助實(shí)現(xiàn)無縫的制程轉(zhuǎn)換提高產(chǎn)量實(shí)現(xiàn)zui大化<	新一代測(cè)量系統(tǒng)能夠在所有輸出范圍內(nèi)（50歐姆和非50歐姆負(fù)載）對(duì)功率和阻抗進(jìn)行極的測(cè)量近乎瞬間的頻率調(diào)諧（可選）可選脈沖和同步脈沖的脈沖頻率范圍很寬廣可選的 HALO（高度、低輸出）及弧管理系統(tǒng)緊湊半機(jī)架型外觀設(shè)計(jì)

　　Apex 射頻供電系統(tǒng)

　　通用 Apex 系列射頻電源和供電系統(tǒng)采用復(fù)雜的射頻轉(zhuǎn)換技術(shù)，在適合于真空室安裝的模塊化設(shè)計(jì)中提供增大的產(chǎn)品和工藝可靠性。Apex 平臺(tái)在針對(duì)半導(dǎo)體、平板顯示器或數(shù)據(jù)存儲(chǔ)制造以等離子為基礎(chǔ)的薄膜工藝中表現(xiàn)優(yōu)異。

優(yōu)勢(shì)	特點(diǎn)
更高的功率密度更好的工藝靈活性產(chǎn)量提高持有成本降低簡(jiǎn)化工藝工具整合靈活的通信	簡(jiǎn)化的設(shè)計(jì)真空室安裝、框架安裝、支架安裝和鞋盒式（shoebox）選擇寬帶控制回路和可選的高重復(fù)率脈沖業(yè)界的弧管理符合監(jiān)管要求

　　HFV 變頻 （~2 MHz） 電源

　　靈活的 HFV 電源主要用作200和300 mm 晶圓制程、平板顯示器和 DVD 設(shè)備的等離子發(fā)生器，為離子化物理氣相沉積（IPVD）、CVD 和蝕刻提供了工藝一致性。這種通用電源的特點(diǎn)有數(shù)字合成變頻輸出和微處理器控制，輸出功率電平為3、5和8 kW。此外，其輸出頻率范圍為1.765-2.165 MHz。固件上的頻率調(diào)諧參數(shù)可進(jìn)行定制，以確保在各種真空室結(jié)構(gòu)和工藝方法下的可重復(fù)運(yùn)行。

優(yōu)勢(shì)	特點(diǎn)
提高了 run-to-run 準(zhǔn)確性具有通用性提高了可靠性增強(qiáng)了工藝靈活性降低了持有成本	可定制的頻率調(diào)諧參數(shù)輸出頻率范圍為1.765-2.165 MHz 3、5和8 kW 的輸出功率電平數(shù)字合成頻率輸出微處理器控制

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脈沖電源

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