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帶你走進真空知識世界(一)
中國臺灣日揚CF300 Gasket墊片,可耐溫度是多少?是否可以用于液態(tài)氮的制程環(huán)境呢?
CF300 gasket 材質為無氧銅,可耐溫度為-200℃~450℃。液態(tài)氮溫度約為-196℃,如果液氮管路直接與法蘭接觸,低溫會傳導至Gasket使其熱脹冷縮產生形變,有泄漏的風險。因此可以設計雙層管的裝置來避免這個問題,如下圖所示。
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作者:深圳市科銳詩汀科技有限公司真空技術中心
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