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APC真空蝶閥介紹

時(shí)間:2024/2/2閱讀:1849
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APC真空蝶閥介紹

日揚(yáng)科技的APC真空蝶閥是一種可以通過電動(dòng)馬達(dá)控制蝶板的開度,從而調(diào)節(jié)真空腔體的壓力的真空閥門,主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、光電面板、太陽能、CVD等產(chǎn)業(yè)的真空制程。

產(chǎn)品結(jié)構(gòu)介紹:

image.png


APC蝶閥一般被安裝在真空泵組與真空制程腔室之間,通過真空計(jì)反饋的電壓值控制蝶閥密封板開度大小,從而達(dá)到調(diào)節(jié)腔室壓力的目的,搭配O型圈的設(shè)計(jì),可以隔絕真空側(cè)與大氣側(cè),防止污染和泄漏。

控制系統(tǒng)介紹:日揚(yáng)的APC真空蝶閥的控制器和執(zhí)行器集成在一體,可以通過多種通訊接口(如MODBUS、DeviceNET等)與外部控制器或軟件進(jìn)行通信。APC真空蝶閥的控制器還具有友善的用戶界面,可以方便地設(shè)定和監(jiān)控閥門狀態(tài),以及設(shè)置控制參數(shù)、循環(huán)壽命、壓力公差范圍等。

非常快速準(zhǔn)確的壓力控制

*開閥門位置控制
*備用電源:有,用于停電時(shí)關(guān)閉閥門。
*傳感器電源:24V DC 和±15V DC 均有
 *2 個(gè)線性傳感器或模擬線性物理量的輸入
*模擬量和數(shù)位控制
*環(huán)境溫度:≤ 70°C max.(控制器部分-24HR)
*遠(yuǎn)端控制(供客戶選擇)
*閥門可由主機(jī)(本地控制)通過RS232控制;用于初始調(diào)整。
*狀態(tài)和位置以綠色4位亮數(shù)字顯示。

日揚(yáng)APC蝶閥具有控制壓力精確、反應(yīng)時(shí)間短、使用壽命長(zhǎng)、易維修等特點(diǎn),搭配Htc的APC軟件,可以簡(jiǎn)單快速地設(shè)定并監(jiān)控制程壓力。


>>設(shè)置控制調(diào)整參數(shù):PID GAIN

>>壓力和位置控制模式

>>附表測(cè)試模式=> 1 cycle schedule

>>設(shè)置閥打開/關(guān)閉速度

>>記錄APC HW/SW 版本, 序列號(hào)和型號(hào)

>>記錄閥門循環(huán)和運(yùn)行時(shí)間

>>設(shè)置公差范圍的壓力

>>循環(huán)壽命和壓力控制記錄

>>控制器參數(shù)上傳和下載

>>斷電保護(hù)功能

>>屏幕截圖

>>壓力學(xué)習(xí)功能






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