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FC-7700美國AE氣體質(zhì)量流量計(jì)簡介

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      Adcanced Energy 的Aera FC-7700系列產(chǎn)品是實(shí)踐驗(yàn)證的適用多種應(yīng)用的場合的標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品,該流量計(jì)采用非金屬密封,流量控制,性價(jià)比高。該產(chǎn)品專為從業(yè)于半導(dǎo)體、平板顯示、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、工業(yè)真空和工業(yè)鍍膜市場的工藝和設(shè)備工程師設(shè)計(jì),同時(shí),該系列產(chǎn)品在CVD、PVD、蝕刻、離子注入、濺射、熱氧化、光學(xué)玻璃鍍膜、光纖、面處理表以及其它鍍膜工藝等腐蝕性氣體應(yīng)用領(lǐng)域表現(xiàn)出良好的可靠性和優(yōu)異的性能。


性價(jià)比高

   FC-7700系列產(chǎn)品專為那些要求頂極性能,但不要求具有耐腐蝕性或超高漏率要求的應(yīng)用而定制,不僅性價(jià)比好,而且控制精度非常高。

響應(yīng)速度快

   FC-7700系列產(chǎn)品采用技術(shù)設(shè)計(jì),工作性能遠(yuǎn)遠(yuǎn)優(yōu)于同類質(zhì)量流量控制器MFC.其先進(jìn)之處包括:采用了一種敏感性強(qiáng)、響應(yīng)速度快的小直徑傳感器。另外,與采用低速熱敏閥的同類產(chǎn)品相比,FC-7700系列產(chǎn)品采用常開或常閉式電磁閥,具有較快的響應(yīng)速度。提高響應(yīng)速度之后,避免了出現(xiàn)過沖,達(dá)到設(shè)定點(diǎn)的時(shí)間不到2秒--在所有帶標(biāo)準(zhǔn)電磁閥的質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品中是zui快的。

的可靠性

   由高質(zhì)量的電子組件和采用耐用、zui少元器件的設(shè)計(jì)理念,這使它可以經(jīng)受強(qiáng)射頻場的干擾,滿足其它運(yùn)轉(zhuǎn)要求,并具有同類產(chǎn)品中*的零點(diǎn)漂移穩(wěn)定性--使用超過一年,零點(diǎn)漂移不到滿量程的0.5%。在投入使用的25,000件以上產(chǎn)品中,僅有不到0.5%的產(chǎn)品在出貨一年內(nèi)返修。

易于集成

    替換其它品牌,即可輕松獲得Area質(zhì)量流量控制器所具有的性能和可靠性方面的優(yōu)勢(shì),且不會(huì)遇到安裝方面的麻煩。特定型號(hào)的產(chǎn)品帶有標(biāo)準(zhǔn)電氣接頭并具有臨界尺寸,可輕松裝入現(xiàn)有的系統(tǒng)。

出從的效果

   FC-7700系列質(zhì)量流量控制器帶給您的不僅僅是薄膜和刻蝕工藝的一致性,同時(shí)還有高度的可重復(fù)性。

如有需要,   劉曙東:

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