瑞士inficon電容式膜片真空計的優(yōu)點與應用
擁有成本更低，預熱速度快 50%，節(jié)能，低功耗
易于集成，各種滿刻度、法蘭和接口，標配兩個設定點
輕松一鍵調零或遠程信號調零指令，可調零點偏移
診斷端口用于快速維修和維護
兩年保修服務，加熱概念和真空計保護延長了使用壽命
的信號穩(wěn)定性和可重復性，即使是zui苛刻的等離子應用，都無需長期執(zhí)行重新校準
合規(guī)性與標準： CE、EN、UL、SEMI、RoHS
典型應用
用于刻蝕、CVD、PVD 和其他半導體制造過程
化學和腐蝕性高溫過程
需要真空計保護的一般薄膜和真空過程
