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深圳市科銳詩(shī)汀科技有限公司
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英福康那些超好用的智能檢漏工具

時(shí)間:2024-12-17閱讀:52
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高效、精確、簡(jiǎn)便的泄漏檢測(cè),不僅歸功于高性能的檢測(cè)儀器,還離不開(kāi)儀器所配置的各種智能工具。今天,官微君就將用一篇文章,為您講清楚英福康那些應(yīng)用于氦氣檢漏操作,懂儀器、更懂你的實(shí)用工具們


SMART-Spray氦氣噴槍

—— 智慧型全能幫手

SMART-Spray是英福康專為UL系列檢漏儀設(shè)計(jì)的便攜式、無(wú)線、無(wú)管氦氣噴槍,有了它,氦氣泄漏檢測(cè)時(shí)使用軟管搬運(yùn)超大氦氣瓶和反復(fù)手動(dòng)調(diào)節(jié)噴霧量的操作都將成為過(guò)去。

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單次充裝氦氣,可噴氦超過(guò)1000次的SMART-Spray,不僅簡(jiǎn)化了檢測(cè)流程,提高了檢測(cè)效率,還能夠通過(guò)精確定位檢查點(diǎn)所需的氣體流量大大節(jié)省氦氣用量和檢測(cè)成本


此外,其內(nèi)配備的彩色照明顯示屏,尤其適用于極限泄漏率小于 1 x 10-9 mbar x l/s的環(huán)境,或是有著許多測(cè)試點(diǎn)和潛在泄漏的復(fù)雜半導(dǎo)體的泄漏測(cè)試,讓檢漏操作更加靈活與簡(jiǎn)便。



I·BOOST信號(hào)處理濾波器

—— 提速技能滿分

依靠軟件更新后的I·BOOST信號(hào)處理濾波器,英福康可通過(guò)加速泄漏率信號(hào)、縮短噴涂間隔時(shí)間,來(lái)幫助用戶顯著提升測(cè)試效率,尤其適用于UL3000 Fab 和 UL6000 Fab 系列。


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更值得一提的是,I·BOOST的優(yōu)勢(shì)在復(fù)雜的半導(dǎo)體系統(tǒng)檢漏應(yīng)用中尤為突出。“極限泄漏率越低,測(cè)試周期通常就越長(zhǎng),而這正是 I·BOOST 的高靈敏度和省時(shí)。"英福康總部產(chǎn)品經(jīng)理馬庫(kù)斯-施萬(wàn)貝拉介紹說(shuō)。


SPRAY-Check參考漏孔

—— 不放過(guò)一處泄漏

SPRAY-Check是一種易于安裝的參考漏孔,其以石英窗為基礎(chǔ),只對(duì)氦氣和氫氣等輕氣體有滲透性。使用其輔助泄漏檢測(cè),不僅提高了安全性,還擴(kuò)展了檢測(cè)的功能,例如可在相關(guān)泄漏率范圍內(nèi)檢查測(cè)量設(shè)置和測(cè)試方案,或是將其直接連接到生產(chǎn)系統(tǒng)中進(jìn)行死區(qū)時(shí)間檢查等。


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“在使用氦氣進(jìn)行泄漏檢測(cè)時(shí),從噴射氣體到檢漏儀顯示屏出現(xiàn)指示一般會(huì)有一段時(shí)間的間隔,用戶可通過(guò)估算該時(shí)間,來(lái)明確劃分出潛在的泄漏點(diǎn)。例如,若死鎖時(shí)間過(guò)后顯示屏沒(méi)有任何指示,則說(shuō)明沒(méi)有泄漏。"馬庫(kù)斯-施萬(wàn)貝拉進(jìn)一步解釋說(shuō),“由于SPRAY-Check不受對(duì)工藝有害的氣體(如水或氧氣)的影響,因此它也可以安裝在半導(dǎo)體系統(tǒng)中,或應(yīng)用于極限泄漏率低于 10-9 mbar x l/s 的系統(tǒng)中。"


適配英??礥L系列檢漏儀,

助力提升半導(dǎo)體生產(chǎn)效率與品質(zhì)


SMART-Spray、I·BOOST 和 SPRAY-Check,適用于英??礥L系列的所有移動(dòng)式氦氣檢漏儀(I·BOOST 僅限于最新一代UL3000 Fab/UL6000 Fab 系列使用)。


UL系列檢漏儀,一直是英??档漠a(chǎn)品系列之一。UL6000 Fab ,憑借著zhuoyue的性能,被廣泛應(yīng)用于現(xiàn)代半導(dǎo)體工廠和具有超大腔室容積的涂層系統(tǒng)中,滿足較大測(cè)試量的檢漏需求。在所有測(cè)量范圍內(nèi),它都能提供最快的響應(yīng)時(shí)間和最短的測(cè)試時(shí)間。同時(shí),其緊湊的設(shè)計(jì),使其即使在狹小的空間內(nèi)也能輕松操作。

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UL3000 Fab 系列,也是專為半導(dǎo)體工廠的泄漏檢測(cè)而開(kāi)發(fā)。其具有靈活、機(jī)動(dòng)、調(diào)試快速和靈敏度高等特點(diǎn),匹配半導(dǎo)體行業(yè)用戶對(duì)檢測(cè)高效性和精準(zhǔn)性的要求。此外,UL3000 Fab 的占地面積也很小,可以在狹窄的空間內(nèi)輕松移動(dòng)。


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UL1000 Fab 系列,則在集成以上產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)的同時(shí),又兼具了經(jīng)濟(jì)性,廣泛用于工業(yè)或半導(dǎo)體環(huán)境中的氦氣真空泄漏測(cè)試,尤其適用于較小的真空室

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