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MKS質(zhì)量流量控制器是應(yīng)用于多用途的大流量流量控制，涵蓋了從20SLM到200SLM的量程。和其他流量控制器相比，1559A*的控制閥門消除了運(yùn)行中的振動和提供了更快的響應(yīng)時(shí)間。通過平衡力閥門的設(shè)計(jì)可...
真空泵傳動部位磨損是普遍存在的問題，其中包括軸承位、軸承座、軸承室、鍵槽及螺紋等部位，傳統(tǒng)方法以補(bǔ)焊和刷鍍噴涂為主，但兩者均存在一定弊端：補(bǔ)焊高溫產(chǎn)生的熱應(yīng)力無法*消除，易造成材質(zhì)損傷，導(dǎo)致部件出現(xiàn)彎...
某公司的300MW機(jī)組，每臺機(jī)組配備2臺機(jī)械真空泵，其中1臺運(yùn)行，1臺備用。真空泵用于機(jī)組啟動時(shí)抽真空，正常運(yùn)行時(shí)用于抽出凝汽器中未凝結(jié)的氣體。該泵配備電機(jī)160kW，轉(zhuǎn)速590r/min，額定電流3...
INFICON真空計(jì)開關(guān)以PSG500-S和PSG502-S為例。設(shè)點(diǎn)（setpoint）功能在2E-3mbar到500mbar（電壓范圍為2.67到9.61VDC）的壓強(qiáng)范圍內(nèi)是可調(diào)節(jié)的。每個(gè)開關(guān)功...
磁性流體真空傳動裝置是一種把旋轉(zhuǎn)運(yùn)動傳入真空容器的裝置，其基本構(gòu)成為一個(gè)*磁場，兩個(gè)磁極，一個(gè)磁性轉(zhuǎn)動軸和磁性流體。傳動軸是一個(gè)多極結(jié)構(gòu)，由磁極和轉(zhuǎn)軸組成。在每級環(huán)形間隙中，充滿了磁性流體。在理想狀態(tài)...
科銳詩汀詳細(xì)單位換算表量英制單位換算系數(shù)英制換算為單位單位換算為英制長度英寸(in)英尺(ft)碼(yard)哩(mile)毫米(mm)或厘米(cm)厘米(cm)或米(m)米(m)千米(km)1英寸=...
渦輪分子泵的抽氣原理分子泵輸送氣體應(yīng)滿足二個(gè)必要條件：1）.渦輪分子泵必須在分子流狀態(tài)下工作。因?yàn)楫?dāng)將一定容積的容器中所含氣體的壓力降低時(shí)，其中氣體分子的平均自由程則隨之增加。在常壓下空氣分子的平均自...
這是一個(gè)老問題了。從工作機(jī)理來說，分子泵對油蒸汽的壓縮比很高，即使前級有油蒸汽存在，高真空室通常無法檢測到油蒸汽，所以，往往被稱為“無油”泵。其實(shí)，上述說法只有在分子泵操作步驟合理時(shí)才能成立。分子泵處...
1、真空的定義真空系統(tǒng)指低于該地區(qū)大氣壓的稀簿氣體狀態(tài)2、真空度處于真空狀態(tài)下的氣體稀簿程度，通常用“真空度高”和“真空度低”來表示。真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示真空度“差”的意思。3...
前級泵抽速選擇排氣口壓力低于一個(gè)大氣壓的傳輸泵如擴(kuò)散泵、油增壓泵、羅茨泵、渦輪分子泵等，它們工作時(shí)需要前級泵來維持其前級壓力低于臨界值，選用的前級泵必須能將主泵的zui大氣體量排走，根據(jù)管路中，各截面...
擴(kuò)散泵抽速計(jì)算公式：S＝Q/P＝(K·n)/(P·t)(升/秒)式中：S－被試泵的抽氣速率(l/s)n－滴管內(nèi)油柱上升格數(shù)(格)t－油柱上升n格所需要的時(shí)間(秒)P－在泵口附近測得的壓強(qiáng)(托)K－滴管...
真空系統(tǒng)常用名稱(1)主泵：在真空系統(tǒng)中，用于獲得所需要真空度來滿足特定工藝要求的真空泵，如真空鍍膜機(jī)中的油擴(kuò)散泵就是主泵。(2)前級泵：用于維持某一真空泵前級壓強(qiáng)低于其臨界前級壓強(qiáng)的真空泵。如羅茨泵...
INFICON電容薄膜規(guī)的特點(diǎn)：1、以可靠的超純陶瓷傳感器室為基礎(chǔ)構(gòu)成2、在嚴(yán)酷和腐蝕性環(huán)境中,穩(wěn)定與可靠的高精度壓強(qiáng)測量3、快速的預(yù)熱和恢復(fù)時(shí)間,提高生產(chǎn)率4、的長期穩(wěn)定性,再現(xiàn)性和重復(fù)性5、由于電...
加熱型薄膜規(guī)壓力使膜片變形，變形量與壓力大小成比例關(guān)系,通過測量不同壓力下的陶瓷膜片的變形量測量真空度1、零飄極小0.1%FS/年（干凈真空環(huán)境）2、更高的精度3、環(huán)境溫度變換/環(huán)境壓力變化/環(huán)境氣流...
電容薄膜規(guī)要求高的應(yīng)用條件下，而快速的壓強(qiáng)測量1、用于刻蝕，CVD,PVD,ALD半導(dǎo)體設(shè)備制造，如太陽能光伏行業(yè)的PECVD用的很多，刻蝕上一般用陶瓷型的CDG025D-X3比較多，抗污染性能比較好...
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