EXT255DX  Edwards EXT復(fù)合渦輪分子泵

性能特點(diǎn)

兼容TIC渦輪儀表控制器。

多種通訊模式。

*并口，用于傳統(tǒng)控制信號(hào)接口

* 串口，用于RS-232接口。

通過(guò)RS-232接口，用戶可以設(shè)置各種參數(shù)RS-232。

* 放氣閥控制設(shè)置。

* 正常泵速顯示。

* 準(zhǔn)備轉(zhuǎn)速顯示。

* 功耗。

* 泵溫。

增強(qiáng)型泵速、功耗、溫度監(jiān)測(cè)。

EXT255DX  Edwards EXT復(fù)合渦輪分子泵

技術(shù)數(shù)據(jù)

前級(jí)泵也可以使用抽速更大的旋片泵，還可使用極限真空小于5mbar的隔膜泵。

* 超出該入口壓力時(shí)，轉(zhuǎn)速為額定轉(zhuǎn)速。
   ** 此時(shí)功率160W。
   *** 沒(méi)安裝入口篩網(wǎng)。安裝篩網(wǎng)時(shí)，泵速下降約10%。
       前級(jí)泵為兩級(jí)旋片泵，并烘烤48小時(shí)。
       Pb<5 mbar（500 Pa）并烘烤48小時(shí)。

安裝尺寸

A 放氣口的手動(dòng)放氣閥

B 電連接盒

C 邏輯接頭

D 前級(jí)泵接口

E 吹掃凈化口（空白）

F 插座

G 地線連接

EXT255DX渦輪分子泵特性曲線

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