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B-A 型皮拉尼電容膜片真空計
大氣壓至超高真空三合一真空計 BCG450
INFICON Bayard-Alpert Pirani 電容式隔膜真空計 (Triple-Gauge™) BCG450 將三大不同技術的優(yōu)勢融合在一個體積小、價格低的規(guī)管中,可以測量從 5×10-10 至 1500 mbar(3.75×10-10 至 1125 Torr)的過程壓力和基本壓。BCG450 的設計旨在替代三個傳感器(熱電離、加強對流 Prani 和真空開關),因而節(jié)省了成本和寶貴的工具空間。
BCG450 可節(jié)省成本和工具空間,降低真空測量儀器的安裝與設置的復雜性
壓力超過 10 Torr 時壓力測量不受氣體類型限制,可以為任何氣體混合物提供更為可靠的預抽真空室控制
皮拉尼聯(lián)鎖保護絲極,防止過早燒毀
高真空皮拉尼自動調(diào)節(jié),減少操作員的干預
大氣氣壓下壓差測量消除了大氣壓力變化引起的不確定性
傳感元件帶有板載校準數(shù)據(jù),易于更換,可保證再現(xiàn)性
備有可選的圖形顯示器和現(xiàn)場總線接口
符合 RoHS 標準
新!現(xiàn)在提供 ProfiNET 數(shù)字接口!
對半導體過程和預抽真空室的壓力測量
工業(yè)鍍膜
在低至超高真空范圍中系統(tǒng)的一般真空測量和控制
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