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MKS C系列質(zhì)量流量控制器 質(zhì)量流量計
1179A MKS1179A MKS1179A質(zhì)量流量計
1479/179A MKS質(zhì)量流量計
1479A/179A 質(zhì)量流量控制器/質(zhì)量流量監(jiān)視器， 其滿量程范圍從10 sccm – 20 slm，
各種模擬和數(shù)字通訊口可選。
M330B 低壓質(zhì)量流量控制器， 其滿量程范圍從 5–100 sccm
M330H 高溫型（150℃）質(zhì)量流量控制器， 其滿量程范圍從 10sccm – 40 slm
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