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TT系列 MKS質量流量計π系列金屬密封壓力不敏感數(shù)字質量流量控制器

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TT系列 MKS質量流量計

πMFC 是新一代壓力不敏感數(shù)字質量流量控制器。實時高精度流量控制是基于數(shù)字算法技術，能有效地避免因壓力波動而造成的流量不穩(wěn)。 πMFC 廣泛地應用于諸如半導體和薄膜生產(chǎn)工藝等高精度、高純度氣體系統(tǒng)。 πMFC 集成壓力傳感器并顯示壓力等讀數(shù)，各種模擬和數(shù)字通訊口可選。