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ALTA MKS質(zhì)量流量計
ALTA® 1480A/180A 數(shù)字質(zhì)量流量控制器/質(zhì)量流量監(jiān)視器， 滿量程范圍從10 sccm– 30 slm。
ALTA® MC20A 數(shù)字質(zhì)量流量控制器， 滿量程范圍從20 – 300 slm。
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