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先進(jìn)制程的開發(fā)初期都需要在實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行許多測(cè)試,Htc日揚(yáng)科技制造之客制化真空腔體裝配于多種實(shí)驗(yàn)設(shè)備,為研究者提供了適當(dāng)?shù)墓ぞ咭赃M(jìn)行各項(xiàng)實(shí)驗(yàn), Htc日揚(yáng)科技已建立的實(shí)績(jī)包括各種實(shí)驗(yàn)用鍍膜腔體、太空模擬裝置、表面分析系統(tǒng)、光學(xué)量測(cè)系統(tǒng)及氣體檢測(cè)設(shè)備等,另外也承制了國(guó)內(nèi)外同步輻射中心超高真空系統(tǒng)的腔體。
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