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連續(xù)式(In-line)設(shè)備腔體的幾何形狀大都為矩形,依照基板傳輸方位可分為立式和臥式,腔體之間視制程的需求裝置閥門作為區(qū)隔,連續(xù)式腔體可以應(yīng)用在:防電磁波干擾(Anti-EMI)鍍膜設(shè)備,表面裝飾鍍膜(SDC)設(shè)備、觸控面板鍍膜設(shè)備、薄膜太陽能電池鍍膜設(shè)備,Low-E玻璃鍍膜設(shè)備。
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