Helium, He

001

Argon, Ar

004

Hydrogen, H2

007

Nitrogen, N2

013

Oxygen, O2

015

流量選型，單位SCCM（zui大20000 N2當(dāng)量）

10

11C

20

21C

50

51C

100

12C

200

22C

500

52C

1000

13C

2000

23C

5000

53C

10000

14C

20000

24C

配件

標(biāo)準(zhǔn)：（兼容）Swagelok® 4 VCR® male

R

可選：（兼容）Swagelok 4 VCO® male

G

可選：（兼容）Swagelok 1/4" tube

S

長度適配器w/ 4 VCR配件

L

長度適配器w/ 1/4" Swagelok配件*

W

閥

常閉

1

連接器

模擬：

9針“D"類型

A

15針“D"類型

B

20針邊緣卡

C

單元組合儀表15針“D"類型

N

微孔15針“D"類型

T

連接器

數(shù)字：

RS-485

5

DeviceNet™

6

密封

標(biāo)準(zhǔn)：Viton®

V

可選：Neoprene®

N

可選：Buna-N

B

可選：Kalrez®

K

固件版本（DeviceNet只）

除非另有規(guī)定，MKS公司將給當(dāng)前的版本

XX