BPG400 大氣壓至超高真空計(jì):B-A 型皮拉尼真空計(jì)

INFICON Bayard-Alpert 皮拉尼復(fù)合真空計(jì) BPG400 將 Bayard-Alpert 和皮拉尼兩種真空計(jì)的功能融合入單個(gè)緊湊型裝置中，測(cè)量范圍為 5×^10-10 mbar至大氣壓（3.8×^10-10 Torr 至大氣壓）。多項(xiàng)技術(shù)相結(jié)合降低了安裝、設(shè)置和集成的復(fù)雜性。選擇 BPG400 單一經(jīng)濟(jì)型封裝，在低成本、可重復(fù)的過(guò)程中進(jìn)行基礎(chǔ)壓力測(cè)量。

好處

• 從 5 x ^10-10 mbar 至大氣氣壓（3.8 x ^{10-10 Torr 至大氣氣壓）的極其寬泛的測(cè)量范圍}

• 在 ^10-8 ...^10-2 mbar 5% 工藝壓力范圍內(nèi)為表現(xiàn)出優(yōu)秀的重復(fù)性

• 皮拉尼聯(lián)鎖保護(hù) Bayard-Alpert 系統(tǒng)在高壓操作下絲極過(guò)早燒毀和過(guò)度污染

• 長(zhǎng)使用壽命氧化釔銥絲

• 備有可選的圖形顯示器和現(xiàn)場(chǎng)總線(xiàn)接口

• 高真空皮拉尼自動(dòng)調(diào)節(jié)，減少操作員的干預(yù)

• 符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)

• 低真空至超高真空范圍內(nèi)的一般真空測(cè)量和控制

典型應(yīng)用

• 對(duì)半導(dǎo)體過(guò)程和傳輸腔室的壓力測(cè)量

• 工業(yè)鍍膜

• 低真空至超高真空范圍內(nèi)的一般真空測(cè)量和控制