傳輸矩形閥的介紹
傳輸矩形閥是一種專為高真空或超高真空系統(tǒng)設(shè)計的高性能閥門
結(jié)構(gòu)設(shè)計
整體布局：采用緊湊合理的設(shè)計，所有移動件都位于大氣側(cè)，這樣可以保證在真空側(cè)減少微塵顆粒的產(chǎn)生，避免對真空系統(tǒng)造成污染。
驅(qū)動機構(gòu)：通常采用氣動驅(qū)動模式，驅(qū)動機構(gòu)包括缸體、活動塊、活動軸、行程驅(qū)動組件、波紋管等部件。通過氣咀進(jìn)氣和放氣實現(xiàn)活塞在腔體內(nèi)活動，進(jìn)而帶動推桿、活動塊和活動軸活動，最終驅(qū)動閥板貼合閥體內(nèi)壁活動，實現(xiàn)閥門的開啟和關(guān)閉1。
密封結(jié)構(gòu)：閥體密封門可以快速拆卸，便于更換 o-ring 密封圈。當(dāng)氣壓損失時，閥門底部的逆止閥可以保證閥板密封件自動鎖緊，防止泄漏。
性能特點
快速響應(yīng)：開啟 / 關(guān)閉的最快時間不超過 1s，能夠快速滿足系統(tǒng)的通斷需求，提高生產(chǎn)效率。
低壓力差：當(dāng)閥門開啟時，壓力差值小于 10mbar，可有效降低對系統(tǒng)壓力的影響，確保系統(tǒng)的穩(wěn)定性。
高潔凈度：由于移動件位于大氣側(cè)以及密封結(jié)構(gòu)的優(yōu)化，減少了微塵顆粒的產(chǎn)生和進(jìn)入真空系統(tǒng)的可能性，保證了真空系統(tǒng)的高潔凈度。
良好的耐用性：閥體材料可選擇不銹鋼或者鋁合金材質(zhì)，表面可以做電解拋光或者硬質(zhì)陽極氧化處理，具有較強的抗腐蝕能力，能抵御潮濕、酸堿等惡劣環(huán)境侵蝕。
應(yīng)用領(lǐng)域
主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、光電產(chǎn)業(yè)的鍍膜設(shè)備中，以及需要精確控制真空壓力的生產(chǎn)線與過渡腔室、傳輸系統(tǒng)與工藝腔室之間
