當(dāng)前位置：深圳市鼎極天電子有限公司>>公司動態(tài)>>博曼推出7.5um毛細(xì)管鍍層測厚儀
W系列 使用多毛細(xì)管光學(xué)器件將X射線束聚焦到7.5μmFWHM，這是世界上使用XRF技術(shù)進(jìn)行塗層厚度分析的小光束尺寸。 150X放大照相機(jī)用於測量該尺度上的特徵; 它配有一臺次級低倍率相機(jī)，用於實時觀看樣本和鳥眼宏觀成像。 鮑曼的雙攝像頭系統(tǒng)可讓操作人員看到整個零件，點擊圖像以使用高級攝像頭進(jìn)行放大，並精確定位要編程和測量的特徵。
一個可編程的XY平臺，每個軸的精度小於+/- 1μm，用於選擇和測量多個點; 鮑曼模式識別軟件和自動對焦功能也可以自動完成。 該系統(tǒng)的3D映射功能可用於查看矽片等部件上塗層的形貌。
W系列儀器的標(biāo)準(zhǔn)配置包括7.5微米光學(xué)用鉬陽極管（鉻和鎢是可選的）和高清晰度，大窗口矽漂移探測器，其處理超過每秒2百萬計數(shù)。
W系列是Bowman的XRF儀器套件中的7th型號。 與產(chǎn)品組合中的其他產(chǎn)品一樣，它同時測量5塗層，並運(yùn)行先進(jìn)的Xralizer軟件，從檢測到的光子量化塗層厚度。 Xralizer軟件將直觀的視覺控制與省時的快捷鍵，廣泛的搜索功能和“一鍵式”報告相結(jié)合。 該軟件還簡化了用戶創(chuàng)建新應(yīng)用程序的過程。
| X射線激勵： | 50 W Mo目標(biāo)Flex-Beam毛細(xì)管光學(xué)元件@7.5 FWHM 可選：Cr或W |
| 檢測器： | 大窗口矽漂移探測器135eV分辨率或更好 |
| 焦點深度： | 修正在0.02“ |
| 視頻放大： | 在150屏幕上使用微視相機(jī)的20X（高可達(dá)600x數(shù)碼變焦） 帶有宏觀相機(jī)的10?20X |
| 工作環(huán)境： | 68°F（20℃）至77°F（25℃）和高達(dá)98％RH，無冷凝 |
| 重量： | 190kg（420lbs） |
| 可編程XYZ： | XYZ行程：300mm（11.8“）x 400mm（15.7”）x 100mm（3.9“） XY桌面：305mm（12“）x 406mm（16”） X軸精度：2.5um（100u“）; X軸精度：1um（40u“） Y軸精度：3um（120u“）; Y軸精度：1um（40u“） Z軸精度：1.25um（50u“）; Z軸精度：1um（40u“） |
| 元素範(fàn)圍： | 鋁13到鈾92 |
| 分析層和元素： | 每層中的5圖層（4圖層+基底）和10元素。 同時分析至多25元素 |
| 初級過濾器： | 4主要過濾器 |
| 數(shù)字脈衝處理： | 4096通道數(shù)位多道分析器-具有快速的成形時間。自動性號處理包含無效時間校正和波峰偏移修正 |
| 處理器： | 英特爾，酷睿i5 3470（3.2GHz），8GB DDR3內(nèi)存， Microsoft Windows 10教授，64bit等效 |
| 相機(jī)光學(xué)： | 1/4" CMOS-1280x720 解析度VGA |
| 電源： | 150W，100?240伏特; 頻率範(fàn)圍47Hz到63Hz |
| 外形尺寸（高x寬x）： | 內(nèi)部：735mm（29“）x 914mm（36”）x 100mm（4“） 外部：940mm（37“）x 990mm（39”）x 787mm（31“） |
| 其他新功能： | Z軸碰撞保護(hù)陣列 自動對焦和聚焦激光 模式識別 高級自定義數(shù)據(jù)傳輸 |
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