能量色散X熒光光譜儀技術(shù)原理：

受激發(fā)的樣品中的每一種元素會放射出二次X射線，并且不同的元素所放射出的二次X射線具有特定的能量特性或波長特性。探測系統(tǒng)測量這些放射出來的二次X射線的能量及數(shù)量。然后，儀器軟件將探測系統(tǒng)所收集到的信息轉(zhuǎn)換成樣品中各種元素的種類及含量。

元素的原子受到高能輻射激發(fā)而引起內(nèi)層電子的躍遷，同時(shí)發(fā)射出具有一定特殊性波長的X射線，根據(jù)莫斯萊定律，熒光X射線的波長λ與元素的原子序數(shù)Z有關(guān)，其數(shù)學(xué)關(guān)系如下：

λ=K(Z− s) −2

式中K和S是常數(shù)。

而根據(jù)量子理論，X射線可以看成由一種量子或光子組成的粒子流，每個(gè)光具有的能量為：

E=hν=h C/λ

式中，E為X射線光子的能量，單位為keV；h為普朗克常數(shù)；ν為光波的頻率；C為光速。

因此,只要測出熒光X射線的波長或者能量,就可以知道元素的種類，這就是熒光X射線定性分析的基礎(chǔ)。此外,熒光X射線的強(qiáng)度與相應(yīng)元素的含量有一定的關(guān)系，據(jù)此，可以進(jìn)行元素定量分析。

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能量色散X熒光光譜儀性能：

1.超低能量分辨率，輕元素檢測效果更佳
使用大面積鈹窗電致冷SDD探測器，探測器分辨率zui低達(dá)到139eV，各項(xiàng)指標(biāo)優(yōu)于國家標(biāo)準(zhǔn)。SDD探測器具有良好的能量線
性、良好的能量分辨率，及良好的能譜特性，較高的峰背比；對Si、S、AI等輕元素的測試具有良好的分析精度。

2. 測試精度更高，檢出限更低
①專業(yè)化的樣品腔設(shè)計(jì)，帶可調(diào)速的自旋樣品腔，能有效的測定輕元素和減少樣品均一性的影響，提高樣品的測試精度。
②采用超小超真空的樣品腔設(shè)計(jì)，保證測試時(shí)達(dá)到10Pa以下，使設(shè)備的測試范圍可從F元素起測試，大大地提高測試范圍、輕元素檢出限和精度。

3. 分析速度更快，從第1秒即可得到定性定量結(jié)果
采用自主研發(fā)的數(shù)字多道技術(shù)，其zui大線性計(jì)數(shù)率可達(dá)100kcps，可以更加快速的分析，從第1秒就可以得出定性定量結(jié)果，
設(shè)計(jì)成高計(jì)數(shù)率，大大提高了設(shè)備的穩(wěn)定性。

4. 一鍵式智能化操作
專業(yè)軟件，先進(jìn)的FP法和EC法等多種方法嵌入的人性化的應(yīng)用軟件，具有高靈敏度、測試時(shí)間短、一鍵智能化操作，使操作簡易，對操作人員限制小的特點(diǎn)。

5. 強(qiáng)大的自動(dòng)化功能
①自動(dòng)化程度高，具有自動(dòng)開蓋、自動(dòng)切換準(zhǔn)直器與濾光片等功能。
②采用自動(dòng)穩(wěn)譜裝置，保證了儀器工作的*性：利用解譜技術(shù)使譜峰分解，采用多參數(shù)的線性回歸方法，使元素間的吸收、排斥效應(yīng)得到明顯的降低。

6. 強(qiáng)度校正法
具有多種測試模式設(shè)置和無限數(shù)目模式的自由添加，內(nèi)置強(qiáng)度校正方法，可校正幾何狀態(tài)不同和結(jié)構(gòu)密度不均勻的樣品造成的偏差。

7. 完善的光路系統(tǒng)
自主研發(fā)的光路系統(tǒng)，光程更短，光路損失更少，激發(fā)效果更佳。

8. 三重安全防護(hù)功能
三重安全防護(hù)功能，自動(dòng)感應(yīng)，沒有樣品時(shí)儀器不工作，無射線泄漏；加厚防護(hù)測試壁；配送測試防護(hù)安全罩。

9. 安全警示系統(tǒng)
警告指示系統(tǒng)，通電時(shí)綠色指示燈亮，測試時(shí)黃色輻射指示燈閃爍，防止誤操作。

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能量色散X熒光光譜儀主要用途：

X熒光光譜儀根據(jù)各元素的特征X射線的強(qiáng)度，可以 測定元素含量。

近年來，X熒光光譜分析在各行業(yè)應(yīng)用范圍不斷拓展，已成為一種廣泛應(yīng)用于冶金、地質(zhì)、有色、建材、商檢、環(huán)保、衛(wèi)生等各個(gè)領(lǐng)域，特別是在RoHS檢測領(lǐng)域應(yīng)用得zui多也zui廣泛。

大多數(shù)分析元素均可用其進(jìn)行分析，可分析固體、粉末、熔珠、液體等樣品，分析范圍為Be到U。并且具有分析速度快、測量范圍寬、干擾小的特點(diǎn)。

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