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更新時(shí)間:2023-10-19 10:50:26瀏覽次數(shù):123次
聯(lián)系我時(shí),請(qǐng)告知來(lái)自 儀表網(wǎng)NM2100是由納米傳感器,高電壓放大器和控制電子元件結(jié)合作為一個(gè)單一通道的獨(dú)立模塊,供電電壓有±15V,130V和-30DV電源。使用該控制器可提供壓電轉(zhuǎn)換器的閉環(huán)位置控制,X-Y平臺(tái),鏡子轉(zhuǎn)向機(jī)制等應(yīng)用。另外,它還應(yīng)用于開環(huán)控制作為壓電控制器和納米傳感器。電子控制器允許用戶優(yōu)化NM2100閉環(huán)響應(yīng)。閉環(huán)控制比開環(huán)控制在穩(wěn)定性和線性度上面有了巨大的提高。型號(hào):2100 -標(biāo)準(zhǔn) 2100-20 -......
亞納米的分辨率;
線性度可達(dá)0.02%;
測(cè)量帶寬可調(diào)(50HZ,500Hz或5kHz);
放大器增益可調(diào)(在不必使用滿量程的情況下);
可選擇長(zhǎng)(“L")或短(“-S")測(cè)量量程(2pF或10pF電容);
磁盤驅(qū)動(dòng)器磁頭測(cè)試;
膜/晶圓夾頭對(duì)齊;
掃描探針顯微技術(shù);
光腔調(diào)整;
干涉測(cè)量;
參數(shù) | 值 | 單位 | 備注 |
靜態(tài)參數(shù) |
| ||
尺寸 | 218x77x34 | mm |
|
供電電壓 | ±15±1@120mA | VDC |
|
±120~+130@30mA | VDC |
| |
-32~-27@30mA | VDC | ① | |
傳感器輸出 | -5~+5 | V | ② |
模擬輸入范圍 | -10~+10 | V |
|
數(shù)字輸入D/A分辨率 | 14 | Bits |
|
納米傳感器動(dòng)態(tài)參數(shù) |
| ||
比例因子 | 0.1~0.01 | GV-1 | ③ |
噪音水平(-S) | <0.3 | ppmHz-1/2rms | ④ |
噪音水平(-L) | <0.15 | ppmHz-1/2rms | ④ |
熱漂移 | 5 | ppmK-1Typ | ④ |
預(yù)熱時(shí)間 | 10 | 分鐘 |
|
預(yù)熱漂移 | 80 | ppm | ④ |
聚苯乙烯擾 | 10 | ppmV-1 | ④ |
線性度 | <0.2 | % | ⑤ |
帶寬 | 50,500,5000±10% | Hz | ⑥ |
高壓放大器的動(dòng)態(tài)參數(shù)(典型值) |
| ||
輸出電壓(2100) | 0~+120 | V |
|
輸出電壓(2100-20) | -20~+120 | V |
|
帶寬 | 5 | KHz | ⑦ |
模擬輸入增益 | 6 | V/V | ⑧ |
數(shù)字輸入增益 | 7.3 | mV/bit | ⑧ |
噪音 | 0.2 | mVms | ⑨ |
電流 | 50 | mA |
|
注意:
①、 負(fù)電源,于2100-20型號(hào)中。
②、 量程可調(diào)在內(nèi)降低性能的情況下。
③、 G就是距離的意思,比例因子是通過側(cè)面面板的選擇開關(guān)來(lái)調(diào)整。
④、 PPM是指每百萬(wàn)分之一距離變化。
⑤、 線性誤差取決于傳感器安裝精度0.02%的線性誤差是可以實(shí)現(xiàn)的。請(qǐng)聯(lián)系真尚有公司洽談詳情。
⑥、 帶寬是通過側(cè)面面板的選擇開關(guān)來(lái)調(diào)整。
⑦、 典型的,取決于執(zhí)行機(jī)構(gòu)。
⑧、 只限于開環(huán)控制。
⑨、 一般情況。
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