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當前位置：廣州微卓測控科技有限公司>>密析爾產(chǎn)品>>露點變送器>> michell--- Pura高純氣露點變送器

高純氣露點變送器

參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號michell--- Pura

品       牌

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地廣州市

更新時間：2024-06-12 09:12:34瀏覽次數(shù)：602次

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在很多超純氣應用，諸如半導體工業(yè)中，氣體中殘余的濕氣對于過程處理的正常運作至關重要。一直以來，對濕氣的持續(xù)追蹤測量都是個難點，需要用到復雜的濕度分析儀或者昂貴的分析技術。然而密析爾儀表高純氣露點變送器則向市場推出了簡單的、經(jīng)濟的、相當有效的方案，用來在線測量露點值，下限低至驚人的-120°C （相當于不到 1 ppbV）。

在很多超純氣應用，諸如半導體工業(yè)中，氣體中殘余的濕氣對于過程處理的正常運作至關重要。一直以來，對濕氣的持續(xù)追蹤測量都是個難點，需要用到復雜的濕度分析儀或者昂貴的分析技術。然而密析爾儀表高純氣露點變送器則向市場推出了簡單的、經(jīng)濟的、相當有效的方案，用來在線測量露點值，下限低至驚人的-120°C (相當于不到 1 ppbV)。

Pura 變送器是基于密析爾儀表多年在阻抗露點傳感器生產(chǎn)和校驗的專業(yè)經(jīng)驗，結(jié)合標準工業(yè)化的材料和制造流程，打造出的適用于半導體制造行業(yè)和超純氣體應用的低價位變送器。

亮點

  • 測量下限 -120°C 露點 (1 ppbV)

  • 測量穩(wěn)定，重復性好

  • 高度集成的采樣裝置

  • 模擬和數(shù)字輸出

  • 安裝簡便

  • VCR 過程接口

  • 設計緊湊小巧

  • 顯示/報警單元可選

高純氣露點變送器技術指標

傳感器
傳感器類型密析爾陶瓷濕度傳感器
量程-120 ~ -40°C 露點 (校驗到 -100 ~ -40°C)
精度±1°C   -40 ~ -60°C;

±2°C   -61 ~ -100°C;

±4°C   -101 ~ -120°C (估算值)

分辨率0.1°C        -40 ~ -79.9°C;

1°C           -80 ~ -100°C;

1 ~ 3°C    -100 ~ -120°C

壓力低 10-9 torr; 大 24 MPa
氣體流量1 ~ 5 Nl/min
電氣
電源通常 24 V DC, 低10 V ~ 高28 V , 大電流 25 mA
輸出4-20 mA 輸出, 對應范圍可由軟件調(diào)整, 調(diào)整量程從 1 ~ 80°C (標配提供)

大負載 = 100 Ω + 50 Ω x (V 電源 -8)

輸出出錯狀態(tài)標準輸出出錯信息如下: 23 mA = 傳感器故障; 20 mA = 超上限; 4 mA = 超下限
機械性能
傳感器套筒不銹鋼, 0.1-0.2 Ra µm 電鍍內(nèi)拋光


連接端口Premium 或 OEM 型: ?" m VCR 接口

Pura Sensor 型: ?" m VCR 接口

安裝配置Premium 或 OEM 型: 120.00mm 長, 氣路端口的端面密封. 無需預留管路空隙

底座上有 2 個 M4 x 0.7, 7mm 深的安裝孔, 斜對面橫豎間距均為 20 x 20mm

Pura Sensor 型: 適用于用戶提供的 ?" VCR 端口中

尺寸Premium 或 OEM 型: 120 x 35 x 150mm

Pura Sensor 型: 132 x 35mm

重量Premium 或 OEM 型: 450g

Pura Sensor 型: 180g

包裝Pura: 雙層包裝, 惰性氣體填充密封

Pura OEM 或 Pura Sensor 型: 單層包裝

所有選配件: 獨立包裝運輸

Sensor 型在傳感芯片端自帶保護套,用以運輸及操作




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