電容式金屬濺射薄膜壓力傳感器采用了金屬濺射技術(shù)等半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝，在金屬膜片上形成應(yīng)變橋路，消除了貼片式應(yīng)變壓力傳感器因膠層引起的蠕變、老化等缺陷。該產(chǎn)品核心部件從歐美原裝引進(jìn)，整體采用電子束焊接，具有較高的溫度使用范圍，特別適合用于石油深井和國(guó)防等領(lǐng)域的高溫高壓測(cè)量。

電容式金屬濺射薄膜壓力傳感器產(chǎn)品特點(diǎn)

高溫、高壓、高可靠性

無隔離膜片和灌充液

抗電磁、射頻干擾

大批量OEM應(yīng)用可專門設(shè)計(jì)

電容式金屬濺射薄膜壓力傳感器主要技術(shù)參數(shù)： 被測(cè)介質(zhì)： 氣體,液體及蒸氣壓力類型： 表壓、絕壓量程： 0 - 0.6～120 Mpa間任意可選輸出 ：1.2～1.8 mv/V綜合精度： ±0.1%FS、±0.25%FS、±0.5%FS非線性： 0.06～0.1%FS遲滯： 0.02～0.05%FS重復(fù)性： 0.03～0.06%FS零點(diǎn)溫漂： ±0.01%FS/℃靈敏度溫漂： ±0.02%FS/℃供電： 5～15V DC輸出阻抗： 1.5～3KΩ絕緣電阻： ≥1000 MΩ/100VDC工作溫度： －40～＋85125150℃可選過載能力： 150%FS電氣連接： 高溫引出線壓力連接： M10×1雙"O"圈密封或用戶接液材料 膜片：17-4PH過程連接件1Cr18Ni9Ti相對(duì)濕度： 0～95% RH密封等級(jí) ：IP65

各種壓力傳感器對(duì)比
種類 優(yōu)點(diǎn) 缺點(diǎn) 
擴(kuò)散硅（壓阻式） 1、精度高；2、小量程和絕壓產(chǎn)品優(yōu)于其它類型產(chǎn)品。 1、低于0℃高于40℃后溫度穩(wěn)定性能大幅度降低；2、膜片易損壞，溫漂大；3、壓力量程局限。 
厚膜陶瓷（壓阻式） 1、成本低；2、抗腐蝕性能好；3、使用范圍較擴(kuò)散硅寬。 1、不穩(wěn)定；2、壓力下降時(shí)，回零難；3、精度差，膜片易碎。 
電容式 1、工藝成熟，穩(wěn)定性較好；2、過載能力強(qiáng)，抗腐蝕性強(qiáng)。 1、成本很高；2、體積大，安裝維護(hù)不方便。 
應(yīng)變片（應(yīng)變式） 1、成本低；2、成熟膠粘工藝。 1、手工生產(chǎn)，離散性大；2、漂移大，穩(wěn)定性差。 
藍(lán)寶石 1、精度高，溫度范圍寬；2、量程范圍寬；3、體積小、重量輕。 1、成本高；2、工藝復(fù)雜技術(shù)要求高；3、敏感材料需要進(jìn)口。 
原子薄膜（應(yīng)變式） 1、精度高，溫度范圍寬；2、溫漂小，穩(wěn)定性好；3、體積小、重量輕； 1、成本高；2、不適合小量程和差壓測(cè)量。