Pura Plus在線微量濕度異動變送器-無錫徽科特測控技術(shù)有限公司

簡介
新型的 Pura Plus 是密析爾儀表針對晶圓工業(yè)對于設(shè)備尺寸和指標(biāo)的需求變化而特殊設(shè)計的。Pura Plus 是一款在線微量濕度異動變送器，多路安裝在半導(dǎo)體工廠內(nèi)通向生產(chǎn)線的氣體供應(yīng)zui末端，用來監(jiān)測超純惰性氣體的應(yīng)用。工廠內(nèi)氣體系統(tǒng)分布復(fù)雜，涉及到很多分支、節(jié)點和使用點。因此在常規(guī)的濕度監(jiān)測點后，會由于微量的泄漏、低效的系統(tǒng)設(shè)計、元件故障或過程出錯等等原因?qū)е聺駳鉂B入，影響下游使用。而安裝在分布系統(tǒng)中的 Pura Plus 能夠提供快速的響應(yīng)指示，在 20 ppb 濕氣級別下 1 ppb 的異動的響應(yīng)時間小于1 分鐘。
亮點
對 ppb 級別濕度異動的快速響應(yīng) 低濕 ppb 級別的靈敏度（<1 ppb）多點測量安裝的全新概念維護要求低信號燈式的狀態(tài)指示可設(shè)置警告和報警點 Modbus 網(wǎng)絡(luò)兼容遠程控制界面的多通道軟件（UHP）超純氣體的管線檢測
技術(shù)指標(biāo)
響應(yīng)速度	<1 分鐘 20 ppb 濕氣變動1 ppb 的響應(yīng)時間
濕度量程	1 ppb to 20,000 ppm
壓力范圍	0 to 10 bar
耐壓等級	300 bar
泄漏測試	0-9 mbar l/s
工作流量范圍	1 ~ 10 l/min
工作溫度	5 ~ 40°C
存儲溫度	30 ~ 70°C
電源	20 ~ 28 V DC
功耗	5 W zui大
外部保險絲等級	500 mA 快熔型
數(shù)據(jù)輸出	Modbus ASCII 兩線 RS485
警告和報警輸出	2 路
zui大電壓	40 V DC
zui大電流	100 mA
氣體接觸的材質(zhì)
外殼材質(zhì)	不銹鋼 AISI 316L, 內(nèi)表面電拋光 <10 Ra
傳感器結(jié)構(gòu)	氧化鋁電解質(zhì), 上層鍍金保護, 下層鋁層
內(nèi)部容積	4.4cm³
重量	450g
氣路接口	1/4" m VCR
電氣接口	9 - 針 D - 型 m 接口
電磁兼容性	EN50081-2 和 EN50082-2