MPS-10X型多功能型探針臺(tái)

產(chǎn)品簡介 ：

在實(shí)際得科研生產(chǎn)中，由于樣品/晶圓（Wafer）得尺寸越來越大，用于測試得探針臺(tái)相當(dāng)昂貴，我司根據(jù)客戶市場應(yīng)用自主研發(fā)得這款結(jié)構(gòu)小巧，功能實(shí)用，成本較低得簡易式探針臺(tái)，在滿足基本測試功能基礎(chǔ)上，去除了非必要得部件，該探針臺(tái)系統(tǒng)包含：光學(xué)成像部分，隔振平臺(tái)，探針座，四維調(diào)整載片臺(tái)（Chuck），真空吸附系統(tǒng)；

在實(shí)際得科研生產(chǎn)中，由于樣品/晶圓（Wafer）得尺寸越來越大，用于測試得探針臺(tái)相當(dāng)昂貴，我司根據(jù)客戶市場應(yīng)用自主研發(fā)得這款結(jié)構(gòu)小巧，功能實(shí)用，成本較低得簡易式探針臺(tái)，在滿足基本測試功能基礎(chǔ)上，去除了非必要得部件，該探針臺(tái)系統(tǒng)包含：光學(xué)成像部分，隔振平臺(tái)，探針座，四維調(diào)整載片臺(tái)（Chuck），真空吸附系統(tǒng)；

主要技術(shù)指標(biāo)：

結(jié)構(gòu)緊湊，功能實(shí)用，價(jià)格實(shí)惠

大可用于12寸以內(nèi)樣品測試

兼容高倍率電子顯微鏡，可360°旋轉(zhuǎn)和微調(diào)升降

漏電流精度：10pA/100fa（屏蔽箱內(nèi)）

精密絲杠/燕尾傳動(dòng)結(jié)構(gòu)，線性移動(dòng)，無回程差設(shè)計(jì)

應(yīng)用于高等院校/研究所/公司實(shí)驗(yàn)室使用

1微米以上電極/PAD使用

模塊化設(shè)計(jì)，可以根據(jù)應(yīng)用增加和去除相應(yīng)模塊

技術(shù)參數(shù)選型：