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功率半導(dǎo)體的廣泛使用迫切需要對功率器件進(jìn)行快速而有效的特性描述。Cascade Microtech 的新型 Tesla 晶圓上功率器件特性描述系統(tǒng)滿足了這一需求，從而縮短了新型功率器件的面市時(shí)間。Tesla 是業(yè)界功率器件測量系統(tǒng)，它提供了一款用于在高達(dá) 400A的電流和 3000V 的電壓條件下進(jìn)行功率半導(dǎo)體的過熱、低接觸電阻測量的完整晶圓上解決方案。該新系統(tǒng)采用了兩款新型晶圓探針和一種全新的晶圓吸盤技術(shù)。

• 高電流參數(shù)（）探針專為滿足 Rds(on) 測量要求而設(shè)計(jì)。*的設(shè)計(jì)限度地抑制了探針至晶圓觸點(diǎn)上的熱失控，并支持高達(dá) 10A（在連續(xù)模式中）和高達(dá) 60A（在脈動(dòng)模式中）的電流。

• 高電壓參數(shù)（）探針在高達(dá) 3000V 的電壓條件下實(shí)現(xiàn)了漏電流低至 1pA 的擊穿電壓測量。

• Exclusive Vacuchannel™ 吸盤技術(shù)運(yùn)用針對薄晶圓（薄至 100μm）的*傳送方法滿足了當(dāng)今功率器件晶圓的需要。此外，Vacuchannel 技術(shù)傳送功率耗散器件的方式也不同于市面上現(xiàn)有的其他解決方案，實(shí)現(xiàn)了功耗高達(dá) 75W 的器件的晶圓上測量。