目錄:長沙力高捷創(chuàng)儀器有限公司>>探針臺系統(tǒng)>>手動探針臺>> Apollowave α-300 阿波羅 微波手動8英吋探針臺
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更新時(shí)間：2022-07-15 13:12:12瀏覽次數(shù)：164評價(jià)
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1 探針臺主機(jī)：α-300
1.1 適用： 12英寸及以下晶圓或芯片
1.2 X軸： 粗調(diào)行程：310mm
粗調(diào)方式：自鎖式推拉桿
微調(diào)行程：25mm
微調(diào)方式：千分尺控制
控制分辨率：10um
1.3 Y軸： 粗調(diào)行程：340mm
粗調(diào)方式：自鎖式推拉桿
微調(diào)行程：25mm
微調(diào)方式：千分尺控制
控制分辨率：10um
1.4 Z軸： 移動量：10mm
粗調(diào)行程：5mm，精度：±10%以內(nèi)
微調(diào)行程：0.3mm，精度：±20%以內(nèi)
1.5 θ軸： 移動量：±8°以上
1.6 平行度： 對載物臺 30um以內(nèi)
1.7 尺寸： 600（W）×600（D）×450（H） 不含突出部
1.8 重量： 約60kg
1.9 真空壓 小于-65kPa（用于晶圓吸附）
1.10 壓縮空氣：0.4-0.5MPa
1.11 使用環(huán)境：溫度23℃±5℃，濕度20%-80%（無結(jié)霜）
1 探針臺主機(jī)：α-300
1.1 適用： 12英寸及以下晶圓或芯片
1.2 X軸： 粗調(diào)行程：310mm
粗調(diào)方式：自鎖式推拉桿
微調(diào)行程：25mm
微調(diào)方式：千分尺控制
控制分辨率：10um
1.3 Y軸： 粗調(diào)行程：340mm
粗調(diào)方式：自鎖式推拉桿
微調(diào)行程：25mm
微調(diào)方式：千分尺控制
控制分辨率：10um
1.4 Z軸： 移動量：10mm
粗調(diào)行程：5mm，精度：±10%以內(nèi)
微調(diào)行程：0.3mm，精度：±20%以內(nèi)
1.5 θ軸： 移動量：±8°以上
1.6 平行度： 對載物臺 30um以內(nèi)
1.7 尺寸： 600（W）×600（D）×450（H） 不含突出部
1.8 重量： 約60kg
1.9 真空壓 小于-65kPa（用于晶圓吸附）
1.10 壓縮空氣：0.4-0.5MPa
1.11 使用環(huán)境：溫度23℃±5℃，濕度20%-80%（無結(jié)霜）
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