半導(dǎo)體（IGBT）IV曲線測試儀 IWATSU CS-8000系列-長沙力高捷創(chuàng)儀器有限公司

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產(chǎn)品簡介

■5kV，2000A時的高功率測試 ■精確的微電流測量（分辨率250fA） ■大屏幕12.1英寸觸摸屏 ■多種GATE信號輸出功能 ■豐富的溫度特性測量選項 ■在探針臺上進行高功率晶片測試

詳細介紹

半導(dǎo)體曲線跟蹤器 CS-8000 系列是各種單元的組合，非常適合所有工藝的表征，支持下一代半導(dǎo)體測量。

■5kV，2000A時的高功率測試

■精確的微電流測量（分辨率250fA）

■大屏幕12.1英寸觸摸屏

■多種GATE信號輸出功能

■豐富的溫度特性測量選項

■在探針臺上進行高功率晶片測試

半導(dǎo)體曲線跟蹤器CS-8000系列的主要特點

易于使用的 UI

配備 12.1 英寸 TFT-LCD （1，280×800）高清大屏幕顯示屏，除了觸摸屏操作外，前面板上的功能鍵和每個功能的獨立旋鈕可實現(xiàn)直觀的操作。

（1） X-Y 顯示區(qū)域

可將任意電壓/電流參數(shù)分別設(shè)置為 X 軸 Y 軸，并顯示各種半導(dǎo)體特性曲線，如 Vds Id 特性、閾值電壓和 Vds-Vgs 飽和特性。您還可以在 Y 軸上設(shè)置多個參數(shù)。刻度可以在日志/線性之間切換。

（2） Y-T 顯示區(qū)域

測量應(yīng)用波形在時間軸上顯示為示波器。由于可以實時檢查波形異常（如脈沖寬度、測量點和振蕩），因此可以輕松驗證是否可以進行準確的測量。所有應(yīng)用波形數(shù)據(jù)都可以與 X-Y 顯示數(shù)據(jù)同時存儲，以便重新驗證測量結(jié)果。

（3）測量數(shù)據(jù)顯示區(qū)域

以純文本格式顯示詳細的測量結(jié)果、測量條件和狀態(tài)。

（4）配置設(shè)置區(qū)域

設(shè)置設(shè)備的測量配置。通過圖形顯示支持電壓/電流單元的選擇和布線更改。

5參數(shù)設(shè)定區(qū)域

設(shè)定測量參數(shù)、測量限制、手動/自動測量等在此區(qū)域進行切換。

（6）操作面板

前面板上設(shè)有按鈕和旋鈕，便于手動測量。居中的數(shù)字鍵盤允許您輸入?yún)?shù)的數(shù)字。使用 DRAIN/COLLECTOR、門/BASE、垂直軸和水平軸旋鈕輕松進行手動測量。

適合應(yīng)用的輸出源

可根據(jù)應(yīng)用選擇測量所需的電壓和電流單元。

右圖為

上部：測試夾具

下半部分：高電流單元

■HV單元
2kV，5kV 高壓單元。可以選擇直流/脈沖波。您可以選擇恒壓和恒流驅(qū)動測量。	主單元CS-8200CS-8500電壓（電流）2 kV（20 mA）5 kV（8 mA）波形直流，脈沖極性正/負測量電流分辨率250 fA

	■MV單元（所有主單元通用）
電壓（電流）200 V（2 A）波形直流（200 mA）、脈沖（2 A）、SIN、半波、全波極性正/負/雙極性測量電流分辨率250 fA	200V 中壓單元。您可以選擇恒壓和恒流驅(qū)動測量。除了直流、脈沖外，您還可以選擇 SIN、半波和全波波形。

■GATE單元（所有主單元通用）
40V 單元。您可以選擇恒壓和恒流驅(qū)動測量。除了直流、脈沖外，還可以選擇 SIN。	電壓（電流）40 V（1 A）波形直流、脈沖、SIN極性正/負/雙極性測量電流分辨率250 fA

	■HC單元
HC單元CS-205CS-210CS-220電流（電壓）500 A（50 V）1 kA（50 V）2 kA（50 V）波形脈沖脈沖寬度10μs～1ms10μs～500μs極性正/負	配備大電流模式，可支持高達 2000A 的大電流測量。脈沖寬度、測量周期和測量范圍可以更改。

最小電流分辨率 250fA

通過采用三軸測量和優(yōu)化測量系統(tǒng)，減少了設(shè)備中的泄漏和噪聲，從而穩(wěn)定測量微電流。

各種門信號輸出

GATE 信號可以按順序輸出和應(yīng)用。

保持時間可變范圍
0.000[s] 到 5.000[s]

備用信號電壓范圍
GATE 側(cè) -40[V] 到 +40[V]

滯后測量

CS-8000 具有測量寬帶隙半導(dǎo)體（如 SiC 和 GaN）的有用功能，這些半導(dǎo)體具有滯后性。

雙掃描功能可同時顯示 UP 掃描和 DOWN 掃描，從而允許觀察滯后。

安全機制

除了聯(lián)鎖功能外，它還具有輸出限制功能。

可以設(shè)置電壓、電流和功率以及每個限制，以防止 DUT 損壞。
此外，硬件的過流保護功能可在電流流經(jīng)測量范圍的 1.4 倍時切斷電流。

組合校準

您可以選擇 HC 單元或夾具，以滿足測量目標(biāo)的電壓和電流。

■構(gòu)成例		2 kV，2，000 A 時使用
	主單元		CS-8200	附件電纜
	HC 單元		CS-2200		HV 標(biāo)準電纜套件	CS-021
	測試夾具		CS-322HV/HC		HC 標(biāo)準電纜套件	CS-022

半導(dǎo)體曲線跟蹤器CS-8000系列主要規(guī)格

HV 單元
CS-8000 系列主要規(guī)格
主單元模型名稱	CS-8020	CS-8200	CS-8500（TBD）
峰值電壓（電流）	―	2 kV（20 mA）	5 kV（8 mA）
測量電壓范圍（滿量程）	―	50 V ～ 2 kV	50 V ～ 5 kV
測量電流范圍	―	20 mA ～ 50 μA	20 mA ～ 50 μA
最小測量電流分辨率	―	250 fA	250 fA
波形	―	直流脈沖	直流脈沖
MV 單元
峰值電壓（電流）	200 V（2 A）
測量電壓范圍（滿量程）	200 mV ～ 200 V
測量電流范圍	2 A ～ 5 nA
最小測量電流分辨率	250 fA
波形	直流脈沖
門單位
峰值電壓（電流）	40 V（1 A）
測量電壓范圍（滿量程）	1 V ～ 50 V
測量電流范圍	5 nA ～ 1 A
最小測量電流分辨率	250 fA
波形	直流脈沖 SIN （50 Hz）
標(biāo)準附件	電源線、控制接口終端、用戶手冊（小冊子 + CD）

HC 單元型號名稱	CS-205	CS-210	CS-220
峰值電流（電壓）	500 A（50 V）	1,000 A（50 V）	2,000 A（50 V）
測量電壓范圍（滿量程）	200 mV ～ 50 V	200 mV ～ 50 V	200 mV ～ 50 V
測量電流范圍	500 mA ～ 500 A	500 mA ～ 1,000 A	500 mA ～ 2,000 A
波形	脈沖（寬度 10 μs 至 1 ms）	脈沖（寬度 10 μs 至 500 μs）	脈沖（寬度 10 μs 至 500 μs）
標(biāo)準附件	電源線、HC-FIXTURE 連接單元、用戶手冊

※使用HC單元時，需要另外使用感應(yīng)電纜。

測試夾具模型名稱	CS-320MV（即將推出）	CS-322HV/HC
標(biāo)準附件	電源線，標(biāo)準引線套件（CS-005 1 型 7 件套），用戶手冊
標(biāo)準附件	―	HV/HC 電纜（2 根）

? 連接測試夾具時，需要單獨的電纜。

■ 電纜組（連接到測試夾具或HC單元時使用。）
電纜組名稱	型號	產(chǎn)品名稱
CS-020 MV 標(biāo)準電纜套件（推薦用于 CS-320 套件）	CS-026	7 根三軸電纜（L=1.0 米）
	CS-027	1 根控制接口電纜（L=1.0 米）
	CS-028	1 根聯(lián)鎖/感應(yīng)電纜（L=1.0 m）
CS-021 HV 標(biāo)準電纜套件（推薦用于 CS-322 套件）	CS-025	2 根 HV 電纜（L =1.0 米）
	CS-026	7 根三軸電纜（L=1.0 米）
	CS-027	1 根控制接口電纜（L=1.0 米）
	CS-028	1 根聯(lián)鎖/感應(yīng)電纜（L=1.0 m）
CS-022 HC 標(biāo)準電纜套件（HC 單元推薦套件）	CS-027	1 根控制接口電纜（L=1.0 米）
CS-022 HC 標(biāo)準電纜套件（HC 單元推薦套件）	CS-028	1 根聯(lián)鎖/感應(yīng)電纜（L=1.0 m）

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