超精密X/XY中空型納米位移臺(tái) 內(nèi)置高性能壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)元件，采用SGS傳感器閉環(huán)，實(shí)現(xiàn)精密高速定位運(yùn)動(dòng)，產(chǎn)品結(jié)構(gòu)緊湊，易于集成，采用分離式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，減小了兩自由度之間的耦合，采用高可靠性的壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)，具有較高的重復(fù)定位精度和納米級(jí)位移分辨率，機(jī)體材料分鋁合金，嚴(yán)格保證構(gòu)結(jié)精度;采用計(jì)算機(jī)有限元仿真分析等現(xiàn)代設(shè)計(jì)方法設(shè)計(jì)微動(dòng)結(jié)構(gòu)； 采用*的表面處理工藝，提高了適應(yīng)不同工作環(huán)境的能力。平臺(tái)安裝和固定通過頂部與底部進(jìn)行操作。底部四個(gè)M4通孔用于固定的平臺(tái)本體，對(duì)于產(chǎn)品在靜態(tài)或動(dòng)態(tài)應(yīng)用是非常重要的。在頂部板上安裝有四個(gè)M3螺紋孔，用于安裝（負(fù)載）外部元件使用。
超精密X/XY中空型納米位移臺(tái)產(chǎn)品特點(diǎn)與技術(shù)優(yōu)勢(shì)：
>當(dāng)步進(jìn)到制定位置后，施加在壓電陶瓷上的電壓變?yōu)?V，因此不存在由于外加電信號(hào)而產(chǎn)生噪音或飄逸問題；
>驅(qū)動(dòng)定位器所需要的電壓一般較低（60V或150V），因此不需要進(jìn)行高壓屏蔽，很多低壓中使用的電纜和接口都可以在這里使用；
>Attocube定位器可以同時(shí)作為粗逼近裝置和精細(xì)掃描頭使用，因此*的提高了設(shè)備的穩(wěn)定性和結(jié)構(gòu)的緊湊性。
工作環(huán)境：
> 工作環(huán)境 (極低溫；高磁場；超高真空)。
> 閉循環(huán)操作，可跟位置敏感器連用，形成閉循環(huán)位置控制； > 大的行程： 厘米級(jí)，大為20cm；
> 極緊湊的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)： Ø11X11mm的定位器可提供幾個(gè)毫米的行程；
> 負(fù)載能力： 超高自身重量的許多倍，大負(fù)載為300g；
> 操作模式： 單一定位器可實(shí)現(xiàn)粗逼近與精細(xì)掃描兩種操作；
> 可靠性： 可重復(fù)步進(jìn)數(shù)十億次；
> 納米精度的補(bǔ)償，*的穩(wěn)定性（低的驅(qū)動(dòng)電壓；無機(jī)械性漂移；不存在齒間隙；SPM掃描中可以達(dá)到原子級(jí)分辨；）
參數(shù)說明
| 是否有現(xiàn)貨： | 是 | 功能： | 位置伺服 |
| 控制方式： | 閉環(huán) | 驅(qū)動(dòng)元件類型： | 機(jī)電 |
| 型號(hào)： | X/XY軸 PK1L100-150U/3 | 規(guī)格： | X/XY軸 PK1L100-150U/3 |
| 商標(biāo)： | nanomotions | 包裝： | 減震 |
| 產(chǎn)量： | 10 |
