壓電陶瓷納米位移臺在提供*精度位移控制的同時,保證了優(yōu)異而*的穩(wěn)定性能,適用于室溫、大氣到超高真空環(huán)境中,負載可達幾公斤,行程達到50mm,小步長50nm,配備的光學位移傳感器可將位移精度控制到10nm,提供多維度位移功能。
壓電陶瓷納米位移臺應用實例:
AFM顯微鏡,激光校準,低溫操作應用,微型加工技術,半導體,掃描應用
特點:
+ 在厘米級的行程范圍內,達到納米級高精度位移控制
+ *的機械穩(wěn)定性
+ 位移驅動電壓<45V,無需高壓屏蔽
+ 10nm位移精度,+/-200nm位移重復性,<0.01%精度
+ 特殊材質,兼容各種光學實驗環(huán)境和超高真空環(huán)境
+ 快速樣品更換裝置
產品規(guī)格和型號參數(shù)
行程范圍:125-750mm
驅動系統(tǒng):無刷直線電機
大加速度: 取決于負載
大速度:3米/秒(無負載時)
大峰值力:800N
大連續(xù)力:160N
大負荷:XY平臺50Kg,Z軸25kg
反饋系統(tǒng):非接觸式直線編碼器系統(tǒng)
TTL分辨率:5 μm, 1μm, 0.5μm,0.25μm, 0.2μm,100 nm & 50 nm
重復精度:5x分辨率
構造:鋁合金主體,硬質灰色陽極鍍膜
上海納動納米位移技術有限公司(簡稱“納動納米”、“NanoMotions”),坐落于上海漕河涇新興技術開發(fā)區(qū),是一家專業(yè)集精密機械、精密驅動、精密傳感、精密控制、精密測量、精密光學等各領域的技術于一體的*,專注于超精密納米級定位及運動控制技術與產品的開發(fā),并致力于創(chuàng)新開發(fā)壓電微米定位、壓電納米定位、壓電定位控制及測量等設備提供系統(tǒng)的技術解決方案,滿足于國內外市場對超精密納米級定位及運動控制技術需求的專業(yè)研發(fā)制造商。 上海納動納米位移技術有限公司本著“創(chuàng)新,立足,精益打造納米定位與運動控制中國制造的品牌“的目標,力求*國內技術空白,打破國外對中國的技術壁壘和國外產品壟斷中國市場的局面,為中國智能裝備產業(yè)和科研領域提供*運動和測控解決方案提供關鍵技術和打造堅實基礎