JEM-ARM200F 原子級(jí)電子顯微鏡配備了自動(dòng)像差校正系統(tǒng),采用日本電子獨(dú)自開發(fā)的像差校正算法,可以自動(dòng)進(jìn)行快速準(zhǔn)確的像差校正。由此實(shí)現(xiàn)了高通量的原子級(jí)分辨率成像。此外,新型STEM檢測(cè)器不依賴于加速電壓就可以獲得高襯度的輕元素圖像。因此,利用能增強(qiáng)輕元素襯度的新STEM成像技術(shù)(e-ABF法)可以更加簡便地觀察到含有輕元素樣品的高清晰(襯度)圖像。
為了響應(yīng)近來已成為主流的遠(yuǎn)程操作的需求,NEOARM的電鏡室和操作室實(shí)行了分離式,主機(jī)使用了JEOL的新概念顏色—純白色和JEOL銀色,設(shè)計(jì)精煉時(shí)尚。
JEM-ARM200F 原子級(jí)電子顯微鏡主要特點(diǎn):
◇ 球差校正器ASCOR(Advanced STEM Corrector
“NEOARM”配備的新型球差校正器ASCOR能夠校正高階像差(即6重像散,目前阻礙透射電鏡分辨率進(jìn)一步提高的大障礙。),ASCOR和Cold-FEG的*組合實(shí)現(xiàn)了從高加速電壓到低加速電壓下的高分辨率。
◇ 自動(dòng)像差校正軟件JEOL COSMO™(Corrector System Module)
JEOL COSMO™采用了全新像差校正算法(SRAM:Segmented Ronchigram Auto-correlation function Matrix),校正像差不需要交換標(biāo)準(zhǔn)樣品也可以快速精確地校正至高階像差。與采用傳統(tǒng)校正算法的系統(tǒng)相比,JEOL CMSMO™能夠高速處理數(shù)據(jù),并且使操作進(jìn)一步自動(dòng)化。因此,客戶在工作流程中可以簡便高效地進(jìn)行高分辨率觀察及各種元素分析。
◇ 新ABF(Annular Bright Field)檢測(cè)器系統(tǒng)
ABF檢測(cè)器作為高分辨觀察輕元素的有效手段已被廣泛使用。“NEOARM”支持能增強(qiáng)輕元素襯度的新ABF成像技術(shù)(e-ABF:enhanced ABF),實(shí)現(xiàn)了對(duì)含有輕元素樣品的原子級(jí)結(jié)構(gòu)的觀察。
◇ Perfect sight檢測(cè)
STEM系統(tǒng)標(biāo)配的Perfect sight檢測(cè)器作為混合檢測(cè)器,采用了由不同材料制成的閃爍器。該檢測(cè)器具有的寬電壓適應(yīng)性,不依賴于加速電壓始終都可以獲得高襯度的STEM圖像,并可用于定量STEM的分析研究工作。
◇ Viewing Camera系統(tǒng)
“NEOARM”標(biāo)配的Viewing Camera系統(tǒng)是以遠(yuǎn)程操控為前提而設(shè)計(jì)的利用雙相機(jī)觀察圖像的系統(tǒng)。此系統(tǒng)允許主機(jī)房和操作間分離,因此能夠靈活地安排操作環(huán)境。電鏡主機(jī)采用的純白色和JEOL銀色在室內(nèi)協(xié)調(diào)美觀,外觀設(shè)計(jì)精煉簡潔。