刻蝕設(shè)備PlasmaPro1000 Astrea新型的PlasmaPro1000 Astrea刻蝕設(shè)備,該設(shè)備可以為PSS, GaN 和AlGaInP提供大批量刻蝕提供解決方案,有助于HBLED制造商提高良率和降低使用者成本。
該設(shè)備可以批量刻蝕55 x 2” 到 3 x 8”的晶片,設(shè)備*的設(shè)計(jì)符合了HBLED材料嚴(yán)苛的化學(xué)要求。PlasmaPro1000 Astrea損耗低、產(chǎn)量高,以保證客戶芯片的大光輸出。
刻蝕設(shè)備PlasmaPro1000 Astrea該設(shè)備的高配置體現(xiàn)在,處理腔可作為獨(dú)立模塊或集群配置,也可升級(jí)為四面集群設(shè)備以支持三個(gè)生產(chǎn)模塊。
為確保該設(shè)備高稼動(dòng)率性和易維護(hù)性,它的主要特性和優(yōu)勢(shì)包括:
行業(yè)*,可處理直徑為690mm和高均勻性要求的等離子源。
490mm的電極,可大批量處理55x2”, 14x4”, 7x6” 到3x8”尺寸的晶片
高電導(dǎo)泵系統(tǒng)
雙進(jìn)氣口使制程調(diào)整更順暢
為晶片冷卻提供大夾具
Z字型的移動(dòng)方式確保晶片的均勻性
硬件穩(wěn)定和易于維護(hù),確保正常運(yùn)行時(shí)間
上海繪吉電子科技有限公司主要代理歐、美、日及國(guó)內(nèi)*科學(xué)儀器、工業(yè)質(zhì)檢儀器及相關(guān)消耗品,專業(yè)涉及高校、新能源、鋼鐵行業(yè)、科研研究及輕工化工、在國(guó)內(nèi)特別是華東地區(qū)具有廣泛的客戶基礎(chǔ)和良好的商業(yè)信譽(yù)。經(jīng)過幾年的發(fā)展,繪吉公司已經(jīng)在同行業(yè)中確立了多方面的好的地位,無論在公司規(guī)模、人員素質(zhì)、經(jīng)營(yíng)品種、銷售能力和售后服務(wù)等各方面獲得了同行及用戶的廣泛認(rèn)可。 上海繪吉電子科技有限公司從事分析類儀器(熒光光譜儀,質(zhì)譜儀,粒度儀,真空系列等分析類設(shè)備),電池材料制備設(shè)備,實(shí)驗(yàn)室儀器,理化分析類儀器,微生物儀器,生理儀器及實(shí)驗(yàn)室耗材。