納米機(jī)械手、納米操縱儀
簡介： 結(jié)合掃描電鏡或光學(xué)顯微鏡，該納米操縱儀（納米機(jī)械手）可實(shí)現(xiàn)原位的納米級(jí)操縱、移動(dòng)、切割、焊接、力學(xué)性能測量、電學(xué)性能測量等各種實(shí)驗(yàn)，廣泛應(yīng)用于納米機(jī)器人、材料科學(xué)、生命科學(xué)、半導(dǎo)體等各領(lǐng)域。
納米機(jī)械手、納米操縱儀簡介： 結(jié)合掃描電鏡或光學(xué)顯微鏡，該納米操縱儀（納米機(jī)械手）可實(shí)現(xiàn)原位的納米級(jí)操縱、移動(dòng)、切割、焊接、力學(xué)性能測量、電學(xué)性能測量等各種實(shí)驗(yàn)，廣泛應(yīng)用于納米機(jī)器人、材料科學(xué)、生命科學(xué)、半導(dǎo)體等各領(lǐng)域。
產(chǎn)品概述：納米機(jī)械手、納米操縱儀
TNI LF系列納米機(jī)械手是市面上自動(dòng)化程度的納米操作儀器。它具有定位精度高、重復(fù)精度高、基本無漂移、閉環(huán)控制等優(yōu)點(diǎn)。
除可配備鎢探針外，還可選配納米鑷子、納牛級(jí)力學(xué)傳感器、MEMS加熱模塊等各種附件。
性能指標(biāo)
系統(tǒng)整體
系統(tǒng)尺寸：13´13´2.5厘米
機(jī)械手?jǐn)?shù)量： 1 – 4 個(gè)
機(jī)械手粗動(dòng)
移動(dòng)方式：粘滑運(yùn)動(dòng)
移動(dòng)范圍： 10 mm in XY, 5 mm in Z
大移動(dòng)速度： >3 mm/sec
小移動(dòng)步幅： <100 nm
機(jī)械手微動(dòng)
移動(dòng)方式：無摩擦柔性鉸鏈
移動(dòng)范圍： 20 μm in XYZ
大移動(dòng)速度： >45 μm/sec
開環(huán)移動(dòng)精度： 0.1 nm
閉環(huán)移動(dòng)精度： 1 nm
準(zhǔn)確性：<5 nm
漂移： <0.35 nm/minute
軟件功能
探針自動(dòng)移動(dòng)至鼠標(biāo)劃過的任意位置
探針移動(dòng)速度隨電鏡圖像放大倍數(shù)自動(dòng)調(diào)整
探針坐標(biāo)位置的存在/調(diào)用
探針位置實(shí)時(shí)3D 顯示
傳感器自動(dòng)校準(zhǔn)
等等
