產品概述：16針I(yè)C微探針廂

本產品是用于集成電路原型片實驗(頻閃實驗, 電壓襯度, EBIC, OBIC)的特殊樣品臺。為實現可重復的夾持及實驗，IC被放置在一個彈簧支撐的鎖扣夾持器里。
一個微型化的探針廂包含16根探針，可從左邊折合直至碰到一個可調節(jié)的機械停止位。 此時，探針與IC的焊盤柔和接觸。超細鎢探針尖精準定位，每次均接觸IC上的同一點。 

16針I(yè)C微探針廂該“微探針廂”幾乎可以與任何掃描電鏡樣品臺配合使用。如果電鏡有樣品交換倉，但交換倉能容納70mm寬、40mm高的樣品，該“探針廂”也可以適用。 

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