激光干涉比長儀是一種采用光電顯微鏡作為瞄準(zhǔn)標(biāo)尺,激光干涉儀作為測量標(biāo)尺對線紋尺進(jìn)行測量校準(zhǔn)的儀器,其具有測量精度高、重復(fù)性好的特點(diǎn)。該比長 儀能夠同時(shí)實(shí)現(xiàn)玻璃線紋尺和金屬線紋尺的檢測和校準(zhǔn),并能夠直接溯源到激 光波長。該儀器配有自動(dòng)化數(shù)據(jù)采集系統(tǒng),具有實(shí)時(shí)氣壓、濕度補(bǔ)償功能,并且 采用目前流行的USB總線作為數(shù)據(jù)傳輸總線。
? 測量范圍:(0~1000)mm
? 光電顯微鏡瞄準(zhǔn)重復(fù)性:優(yōu)于0.06μm
? 線紋尺正、反測量的一致性:在測量范圍內(nèi)正、反方向測量值之差小于0.2μm
? 測量不確定度:U99=(0.06+0.1L)μm, L單位為m