一、產(chǎn)品用途:
集成電路圓片膠, BPO膠/PI膠/BCB膠固化,IC(晶圓、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指紋識(shí)別;集成電路圓片快速退火
二、產(chǎn)品特點(diǎn):
1.一體式人機(jī)操作系統(tǒng),連續(xù)式自動(dòng)化生產(chǎn),工作效率高,節(jié)約人工成本、電能及工藝時(shí)間。
2.FEC加熱,升溫迅速且均勻度好
3.不銹鋼材質(zhì),表面經(jīng)物理及化學(xué)拋光處理,確保潔凈度。
4.自帶自清潔功能,可通氫氣清洗內(nèi)腔
三、控制系統(tǒng)
1.人機(jī)界面采用觸摸屏方式
2.控制器采用嵌入式控制器
3.超溫保護(hù)為檢測(cè)器件
4.具有氧含量檢測(cè)功能
5.運(yùn)動(dòng)控制為伺服/步進(jìn)控制單元
6.傳輸為專業(yè)晶元傳輸機(jī)器人
7.軟件具有功能:溫度控制,氣氛控制,工藝編輯,數(shù)據(jù)記錄,圖表顯示.
設(shè)備名稱 | 12吋晶圓BUMP烘烤系統(tǒng)全自動(dòng)高溫爐管爐 | ||||
處理產(chǎn)品 | 12inch 晶圓 | 處理量 | 50PCS/管,共100PCS | ||
加熱器 | 溫度傳感器 | ||||
上料口 | 2個(gè) | 機(jī)械手 | 1個(gè)/2個(gè) | ||
溫度范圍 | 150°C-400°C | ||||
升溫速率 | >30℃/min | 降溫速率 | >5℃/min | ||
加熱功率 | 36kW(單爐) | 加熱溫區(qū) | 2個(gè) | ||
人機(jī)界面 | 15寸觸摸屏 | 門聯(lián)鎖 | 保證工作區(qū)安全 | ||
溫度控制方式 | SSR | 程序控制 | PLC控制 | ||
爐膛材料 | 石英玻璃 | 保溫材料 | 陶瓷纖維 | ||
加熱區(qū) | 風(fēng)門加熱區(qū)風(fēng)套 | ||||
排氣系統(tǒng) | 自動(dòng)排氣 |
技術(shù)細(xì)節(jié)變動(dòng)之處,恕不另行通知,具體設(shè)備參數(shù)以咨詢結(jié)果為準(zhǔn)。