安捷倫中型 VacIon Plus 泵具有從 20 到 75 L/s 的氮?dú)獬樗俜秶⒕哂?Diode、Noble Diode 和 StarCell 型號(hào)。Diode Vaclon Plus 泵通常用于抽空電子器件的通用超高真空 (UHV) 系統(tǒng)中及高分辨電子顯微鏡中。Noble Diode Vaclon Plus 離子泵用于在恒定的壓力下抽除混合氣體的超高真空應(yīng)用中，因此非常適用于粒子加速器、同步加速器環(huán)和表面分析等應(yīng)用。設(shè)計(jì)的 StarCell 能同時(shí)抽除大量惰性氣體和氫氣的離子泵。該泵同樣可以高速度和大容量處理甲烷、氬氣和氦氣。StarCell Vaclon Plus 離子泵適合需要在 10–8 mbar 或以上壓力下穩(wěn)定工作的應(yīng)用。
性能指標(biāo)：
中型 VacIon Plus 泵 | 抽氣口法蘭 | 型號(hào) | 抽速 (L/s)（在 1–6mbar 壓力下的飽和泵）氮?dú)?/strong> | 工作壽命（小時(shí)）（在 1–6 mbar 壓力下) | 重量 |
VacIon Plus 75 | 6 英寸外徑 CFF (NW 35) | Star Cell | 65 | 80000 | 凈重 19 (42) |
性能指標(biāo)：
外形圖：
抽速曲線(xiàn)：
技術(shù)規(guī)格：
Agilent VacIon Plus 75
| StarCell | Noble Diode | Diode | |
| 氮?dú)忸~定抽速 (*) (L/s) | 65 | 68 | 75 |
| 在 1 × 10–6 mbar壓力下的工作壽命（小時(shí)） | 80,000 | 50,000 | 50,000 |
| 啟動(dòng)壓力 (mbar) | ≤ 5 × 10–2 | ≤ 1 × 10–3 | ≤ 1 × 10–3 |
| 極限真空 | 低于 10-11 | ||
| 抽氣口法蘭 | 6 英寸 CFF (NW 100) AISI 304 ESR SST | ||
| 烘烤溫度 (°C) | 350 | ||
| 重量，kg（磅）（帶鐵氧體磁鐵） | 19 (42) |
