高溫超納米壓痕測試儀 (UNHT3 HTV)
高溫納米壓痕測試儀是測量小載荷下納米尺度機械性能的測試系統(tǒng)，溫度在 800 °C 以下的薄膜和涂層的硬度和彈性模量。 UNHT 技術(shù)與*的加熱功能結(jié)合，可提供在任何溫度下的高穩(wěn)定性測量解決方案。
關(guān)鍵功能
新一代的高溫納米壓痕測試儀
- 環(huán)境條件下熱漂移 (< 0.5="" nm/min)="" 和整個溫度范圍內(nèi)熱漂移="">< 3="">
- 載荷框架剛度 (>>106 N/m) 和框架柔度 (<0.1>
- 高真空系統(tǒng)具有 5 軸磁懸浮渦輪泵和緩沖系統(tǒng)，允許在測量期間關(guān)閉初級泵，使振動降至。
- *的加熱控制系統(tǒng)（3 項待批），采用3 個紅外 (IR) 加熱器分別用于給壓痕針尖、參比針尖和樣品進(jìn)行加熱，以及 4 個熱電偶用于將樣品表面溫度控制到 變化在0.1°C 內(nèi)。
- 符合 ISO 14577 和 ASTM E2546 國際標(biāo)準(zhǔn)
技術(shù)規(guī)格
| 載荷 | |
|---|---|
| 載荷 | 100 mN |
| 載荷分辨率 | 6 nN |
| 本底噪音 | 0.5 [rms] [μN]* |
| 位移 | |
| 位移 | 100 μm |
| 位移分辨率 | 0.003 nm |
| 本底噪音 | 0.15 [rms] [nm]* |
| 極限真空度 | 10? mBar |
| 溫度 | 800 °C |
