因賽圖針對(duì)多物理場(chǎng)微納米壓痕測(cè)試技術(shù)研究現(xiàn)狀和存在問(wèn)題，開(kāi)發(fā)生產(chǎn)了商業(yè)化多物理場(chǎng)微納米壓痕測(cè)試儀，如圖1所示。多物理場(chǎng)微納米壓痕測(cè)試曲線(xiàn)如圖2所示。

圖1：商業(yè)化多物理場(chǎng)微納米壓痕測(cè)試儀

特點(diǎn)：

   采用壓電致動(dòng)器的載荷裝置保證測(cè)量精確度

  壓電致動(dòng)器作為壓痕測(cè)試的精密驅(qū)動(dòng)加載，可大行程壓痕驅(qū)動(dòng)

  壓痕測(cè)試模塊具有良好的重復(fù)性和測(cè)試精度

  電、磁多場(chǎng)耦合加載

  配備控制主機(jī)，專(zhuān)用檢測(cè)控制系統(tǒng)與配套分析處理軟件

  軟件包括實(shí)時(shí)顯示測(cè)試過(guò)程中位移和載荷信號(hào)變化、從中提取信號(hào)波動(dòng)大小、顯示生成實(shí)驗(yàn)曲線(xiàn)等

  可測(cè)量壓入載荷-壓入深度曲線(xiàn)、材料硬度、彈性模量等基本參量

技術(shù)指標(biāo)：

   電場(chǎng)施加范圍：1000V/mm

   電場(chǎng)分辨率：0.1V/mm

   磁場(chǎng)范圍：0.5T

   磁場(chǎng)分辨率：1Oe

   樣品尺寸：毫米級(jí)

測(cè)試數(shù)據(jù)：

圖2 ：多物理場(chǎng)微納米壓痕測(cè)試曲線(xiàn)

如圖2（a）所示，對(duì)La0.7Sr0.3MnO3、0.33PIN、0.35PMN、0.32PT四種材料進(jìn)行外加電場(chǎng)、磁場(chǎng)的壓痕測(cè)試，結(jié)果發(fā)現(xiàn)：外加電場(chǎng)與磁場(chǎng)均會(huì)顯著導(dǎo)致材料的接觸剛度增加。
    如圖2（b）所示，正向電場(chǎng)與負(fù)向電場(chǎng)均對(duì)PMN-PT材料的壓痕曲線(xiàn)有所影響，結(jié)果發(fā)現(xiàn)：材料的彈性性能與塑性性能均隨著外加電場(chǎng)的影響而有所變化。
    如圖2（c）所示，單晶鎳材料在外加2000Oe磁場(chǎng)的環(huán)境下，壓痕平均增加2.67%，殘余壓深平均增加4.14%，結(jié)果發(fā)現(xiàn)：可得材料的彈性模量增加31.36%，硬度減小6.77%。