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  • 美國 那諾-馬斯特 NRE-3500 (A) 全自動RIE反應(yīng)離子刻蝕機

美國 那諾-馬斯特 NRE-3500 (A) 全自動RIE反應(yīng)離子刻蝕機

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地深圳市
  • 更新時間2022-08-01
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 入駐年限1
  • 實名認證已認證
  • 產(chǎn)品數(shù)量230
  • 人氣值515
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深圳市科時達電子科技有限公司創(chuàng)建于2011年,經(jīng)過十年的發(fā)展,已經(jīng)成長為一家專注于電子材料、半導(dǎo)體儀器設(shè)備、醫(yī)療設(shè)備三大產(chǎn)品領(lǐng)域的,是一家集研發(fā)、制造、銷售為一體的企業(yè)。我們的主營業(yè)務(wù)涉及了研發(fā)銷售及加工電子材料及周邊產(chǎn)品;電子光電產(chǎn)品設(shè)備研發(fā)組裝及銷售,半導(dǎo)體儀器設(shè)備銷售;國內(nèi)貿(mào)易、貨物及技術(shù)進出口;醫(yī)療器械研發(fā)及銷售;醫(yī)用耗材及醫(yī)療用品的銷售等??萍紕?chuàng)新是科時達公司的核心競爭力。我們擁有一支高度專業(yè)化的技術(shù)研發(fā)和管理團隊,建立了國內(nèi)的實驗室和光電研究中心,與多家科研機構(gòu)與大專院校開展“產(chǎn)、學(xué)、研”合作,成功開發(fā)出一系列具有高科技含量的市場產(chǎn)品,公司產(chǎn)品通國內(nèi)科研機構(gòu)的產(chǎn)品認證。同時,公司擁有電子信息領(lǐng)域相對完備的科技創(chuàng)新體系,在電子裝備、醫(yī)療設(shè)備、產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)、網(wǎng)絡(luò)安全等領(lǐng)域占據(jù)技術(shù)主導(dǎo)地位,肩負著支撐科技自立自強、推進國內(nèi)科技現(xiàn)代化、加快數(shù)字經(jīng)濟發(fā)展、服務(wù)社會民生的重要職責。聚焦“三大定位”主責,科時達公司按照“做優(yōu)電子裝備、做大儀器設(shè)備、做精產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)、做強研發(fā)銷售”的總體布局,持續(xù)優(yōu)化核心業(yè)務(wù)體系,推動企業(yè)在科技現(xiàn)代化建設(shè)、現(xiàn)代產(chǎn)業(yè)體系建設(shè)的核心關(guān)鍵技術(shù)節(jié)點上“布點”,在產(chǎn)業(yè)鏈價值鏈創(chuàng)新鏈關(guān)鍵環(huán)節(jié)上“成線”,在關(guān)系國家、國民經(jīng)濟命脈和國計民生關(guān)鍵領(lǐng)域上“控面”。做強電子裝備,重點發(fā)展利用聲、光、電磁信號進行信息感知、傳輸、運用等的系統(tǒng)級裝備和產(chǎn)品,打造全域多維一體新一代電子裝備,不斷夯實在高??蒲蓄I(lǐng)域和高科枝企業(yè)的提供地位。做大儀器設(shè)備,重點發(fā)展半導(dǎo)體儀器基礎(chǔ)設(shè)施和醫(yī)療設(shè)備應(yīng)用與整體解決方案,全面支撐基于網(wǎng)絡(luò)信息體系的聯(lián)合和全域能力提升、國家治理能力提升和數(shù)字化發(fā)展。做精產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ),重點打造形成電子基礎(chǔ)產(chǎn)品科研和生產(chǎn)的基礎(chǔ)支撐能力,以夯實產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈自主可控能力為根本目標,推動以“科時達基因”為核心的銷售集群式發(fā)展。做強研發(fā)銷售,致力于電子產(chǎn)品的研發(fā)??茣r達公司是一家,多年來公司研發(fā)團隊致力于電子材料、半導(dǎo)體儀器和醫(yī)療設(shè)備的研發(fā)。同時企業(yè)還致力于將產(chǎn)品做好國內(nèi)外市場銷售,在整體銷售模式中具備一套完整的銷售體系。以客戶需求為導(dǎo)向,以質(zhì)量求生存,科時達公司以超凡的品質(zhì)和優(yōu)良的服務(wù),獲得國內(nèi)外市場的一致認可;公司營銷網(wǎng)絡(luò)覆蓋,產(chǎn)品世界各地,目前已經(jīng)成為國內(nèi)電子科技行業(yè)中重要的生產(chǎn)制造基地。
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RIE反應(yīng)離子刻蝕機NRE-3500(A)全自動RIE反應(yīng)離子刻蝕機概述:獨立式RIE反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng),淋浴頭氣體分布裝置以及水冷RF樣品.具有不銹鋼柜子以及13的上蓋式圓柱形鋁腔,便于晶圓片裝載.腔體有兩個端口:一個帶有2的視窗,另一個空置用于診斷.該系統(tǒng)可以支持到12的晶圓片。
美國 那諾-馬斯特 NRE-3500 (A) 全自動RIE反應(yīng)離子刻蝕機 產(chǎn)品詳情

RIE反應(yīng)離子刻蝕機

NRE-3500(A)全自動RIE反應(yīng)離子刻蝕機概述:獨立式RIE反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng),淋浴頭氣體分布裝置以及水冷RF樣品.具有不銹鋼柜子以及13"的上蓋式圓柱形鋁腔,便于晶圓片裝載.腔體有兩個端口:一個帶有2"的視窗,另一個空置用于診斷.該系統(tǒng)可以支持到12"的晶圓片。腔體為超凈設(shè)計,并且根據(jù)配套的真空泵可以達到10-6 Torr 或更小的極限真空。該系統(tǒng)系統(tǒng)可以在20mTorr到8Torr之間的真空下工作。真空泵組包含一個節(jié)流閥,一個250l/s的渦輪分子泵,濾網(wǎng)過濾器,以及一個10cfm的機械泵(帶Formblin泵油).RF射頻功率通過600W,13.56MHz的電源和自動調(diào)諧器提供。系統(tǒng)將持續(xù)監(jiān)控直流自偏壓,該自偏壓可以高達-500V.這對于各向異性的刻蝕至關(guān)重要。

NRE-3500(A)全自動RIE反應(yīng)離子刻蝕機是基于PC控制的全自動系統(tǒng).系統(tǒng)真空壓力及DC直流偏壓將以圖形格式實時顯示,流量及功率則以數(shù)字形式實時顯示.系統(tǒng)提供密碼保護的四級訪問功能:操作員級、工程師級、工藝人員級,以及維護人員級.允許半自動模式(工程師模式)、寫程序模式(工藝模式), 和全自動執(zhí)行程序模式(操作模式)運行系統(tǒng)。基于全自動的控制,該系統(tǒng)具有高度的可重復(fù)性。

NRE-3500(A)全自動RIE反應(yīng)離子刻蝕機產(chǎn)品特點:

  • 鋁質(zhì)腔體或不銹鋼腔體

  • 不銹鋼立柜

  • 能夠刻蝕硅的化合物(~400? /min)以及金屬

  • 典型的硅刻蝕速率,400 ?/min

  • 高達12"的陽極氧化鋁RF樣品臺

  • 水冷及加熱的RF樣品臺

  • 大的自偏壓

  • 淋浴頭氣流分布

  • 極限真空5x10-7Torr,20分鐘內(nèi)可以達到10-6Torr級別

  • 渦輪分子泵

  • 最多支持5個MFC

  • 無繞曲氣體管路

  • 自動下游壓力控制

  • 雙刻蝕能力:RIE以及PE刻蝕(可選)

  • 終點監(jiān)測

  • 氣動升降頂蓋

  • 自動上下載片

  • 預(yù)真空鎖

  • 基于LabView軟件的PC計算機全自動控制

  • 菜單驅(qū)動,4級密碼訪問保護

  • *的安全聯(lián)鎖

  • 可選ICP離子源以及低溫冷卻樣品臺,用于深硅刻蝕

NRE-3500(A)全自動RIE反應(yīng)離子刻蝕機產(chǎn)品型號:

  • NRE-4000:基于PC計算機全自動控制的獨立式系統(tǒng),占地面積26“D x 44"W

  • NRE-3500:基于PC計算機全自動控制的緊湊型獨立式系統(tǒng),占地面積26“D x 26"W

  • NRE-3000:基于PC計算機全自動控制的臺式系統(tǒng),占地面積26“D x 26"W

  • NRP-4000:RIE/PECVD雙系統(tǒng)

  • NDR-4000:深RIE刻蝕(深硅刻蝕)系統(tǒng)


關(guān)鍵詞:真空泵 過濾器
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